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一、 產(chǎn)品應(yīng)用：
JS-1600M型磁控濺射儀是依據(jù)二極(DC)直流濺射原理設(shè)計(jì)而成的，*簡(jiǎn)單、可靠、經(jīng)濟(jì)的鍍膜設(shè)備。適用于電鏡實(shí)驗(yàn)室的掃描電子顯微鏡（SEM）樣品制備，非導(dǎo)體材料實(shí)驗(yàn)電極制作。
二、 配置及技術(shù)指標(biāo)：
1. 本系統(tǒng)裝配了水冷卻磁控靶，靶面直徑為50 mm
2. 主機(jī)規(guī)格：L360mm*W300mm*H380mm
3. 靶（上部電極）：金：直徑：50mm，厚度：0.1mm
4. 真空樣品室： 直徑：160mm，高：120mm
5. 濺射面積： Ф50mm
6. 真空指示表： **真空度：≤ 4X10-2 mbar
7. 離子電流表： **電流：100mA
8. 定時(shí)器： *長(zhǎng)時(shí)間：3600S
9. 微型真空氣閥： 可連接φ3mm軟管
10. 可通入氣體： 多種
11. **電壓： -1600 DCV
12. 機(jī)械泵： 2L/S
三、 產(chǎn)品特點(diǎn)
1. 輕便、濺射面積大
2. 可以濺射鉑、金及銀等金屬
3. 濺射效率高，可水冷降溫
暫無(wú)數(shù)據(jù)！
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