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特色
AFM5300E能夠?qū)崿F(xiàn)高真空的測試環(huán)境，**限度減小樣品表面吸附水對測試的影響，實現(xiàn)精確的物理特性測量。 真空環(huán)境下可以實現(xiàn)更大范圍的溫度控制。另外，新開發(fā)的『溫度掃描功能』可監(jiān)視樣品Z方向的熱脹冷縮，通過控制反饋信號，使懸臂在變溫環(huán)境下連續(xù)測試樣品表面的物理特性。
（**3857581號、**3926638號）
●大氣中 ●液體中 ●真空中 ●特殊氣氛（流量控制）
●溫度控制 加熱？冷卻(-120～300℃) 高溫(室溫～800℃)
●濕度控制(0～80%)
●外加磁場（水平、垂直、面內(nèi)旋轉(zhuǎn)、max5000 Oe ）（使用選配項）
2. 簡便操作（綜合型Holder Flange）
通過采用『綜合型Holder Flange開合功能』，樣品和掃描器更換更為方便的同時，免去了以往環(huán)境型SPM的樣品更換后的所需的光軸調(diào)整。 也省去測試模式切換時的支架更換環(huán)節(jié)。
3. **的高性能
采用了『Swing Cancel功能』，減輕了樣品的浮動，降低了漂移。提高了納米分析性能，提升了可信度。 漂移量：0.015nm/sec以下
4. 通過減輕表面吸附水的影響，提高了電氣性能的檢測精度
真空環(huán)境下減輕樣品表面吸附的水分和污染物的影響，因而實現(xiàn)高分辨高靈敏的電學(xué)性能分析。
規(guī)格
| 分辨率 | 原子相 |
|---|---|
| 樣品尺寸 | 20 mmφ、厚度10 mm (用配件厚度擴展至20 mm) |
| 樣品移動范圍 | X-Y stage 5 mm |
| 掃描范圍 | 標準： 20 μm□/1.5 μmH • 150 μm□/5 μmH • 15 μm□/1.5 μmH（閉環(huán)差控制） 定位顯微鏡 • 簡易顯微鏡（×200倍） • 光學(xué)顯微鏡（×1000倍） • 變焦顯微鏡（×700倍） • 金相顯微鏡（裝有微分干渉）（×2000倍） |
| 檢測功能 |
|
| 選配件 | 高溫加熱樣品臺 加熱冷卻兼用樣品臺 冷卻真空 溫度控制 |
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