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EMS 150R S Plus– 緊湊型機械泵濺射儀，適合非氧化金屬
EMS 150R E Plus– 緊湊型機械泵鍍碳儀
EMS 150R ES Plus–集成了離子濺射和碳蒸鍍兩種沉積功能的緊湊型機械泵鍍膜儀
新款改進
● 觸摸屏更換成便于操作的電容觸摸屏
● 固件更新，新版操作界面類似安卓系統(tǒng)，便于客戶上手
● 新的彩色LED可視狀態(tài)指示燈
● USB接口可以用于固件更新，并可將鍍膜方案文件備份/復制到USB存儲設(shè)備
● 可以通過USB端口以.csv格式導出過程日志文件，以便統(tǒng)計分析
主要特點:
●金屬濺射或碳蒸發(fā)一體化設(shè)計，節(jié)省空間
●適合FE-SEM制樣的精細鍍膜和薄膜應(yīng)用
●渦輪分子泵高真空系統(tǒng)，適合不氧化貴金屬和易氧化其它金屬靶材
●全自動觸摸屏控制，快速數(shù)據(jù)輸入，操作簡單
●可儲存多個客戶自定義鍍膜方案：對多用戶實驗室十分理想
●預編程自動真空控制
●使用膜厚監(jiān)控選件精確控制膜厚
●智能系統(tǒng)識別，自動感知用戶所插入鍍膜頭的類型
●高真空碳蒸鍍，對SEM和TEM鍍碳膜應(yīng)用非常理想
●先進的碳棒蒸鍍槍設(shè)計和電流控制技術(shù)，操作簡單，重現(xiàn)性好
● Drop-in式快速換樣品臺（標配旋轉(zhuǎn)臺）
●真空閉鎖功能，讓工作腔室在待機使用時亦處于真空狀態(tài)
●不破壞真空條件下的濺射時間可長達60分鐘，適合材料科研應(yīng)用
●人體工程學設(shè)計，整體成型機殼，維護、拆裝容易
技術(shù)參數(shù):
●工作腔室：165mm外徑 x 127mm高
●觸摸屏全圖像用戶界面
●靶材：標配直徑57mm x 厚0.1mm Au靶
●樣品臺：標配旋轉(zhuǎn)臺，直徑60mm，轉(zhuǎn)速8-20 rpm ，可選配旋轉(zhuǎn)傾斜臺。
●真空系統(tǒng)：雙程旋轉(zhuǎn)機械泵
●極限真空度：2 x 10-2mbar
●濺射真空度：3 x 10-2 mbar與5 x 10-1mbar之間
●濺射電流：0-80mA
●濺射時間：*長60分鐘
●碳蒸發(fā)：穩(wěn)定的無紋波直流電源控制的脈沖蒸發(fā)，確保碳棒可重復蒸碳，電流脈沖1~90A。
●尺寸和重量：儀器機箱585mm寬x 470mm長 x 410mm高 (總高: 650mm)
暫無數(shù)據(jù)！
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