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            中科院微電子研究所勻膠機旋涂儀KW-4A
            中科院微電子研究所勻膠機旋涂儀KW-4A

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            北京

            樣本

            暫無
            北京通世華港設(shè)備有限公司

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            第2年

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            技術(shù)參數(shù)及要求:

            基片尺寸: φ5-100mm圓片,*/大 100×100mm 2 方片

            轉(zhuǎn)速: 500-8000轉(zhuǎn)/分

            轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性: 1%

            旋涂均勻性: 1

            旋涂工藝階段: 2 段

            旋涂時間:Ⅰ速0~18S,*/大(0~60S);Ⅱ速0~60S,*/大(0~180S)

            整機尺寸( 長寬高 210 mm × 2 6 0 mm × 275 mm

            裸機尺寸 長寬高 210 mm × 2 6 0 mm × 1 55mm

            電機功率: 40W

            適應材料:硅片、玻璃、石英、金屬、 GaAs 、 GaN 、 InP 等各種材料

            配套 無油真空泵參數(shù):

            型號: K W 550A/KW 550T

            抽速: 1 .5 升 秒

            功率: 3 20W

            噪音: 50db

            ZUI低真空度: 700mmHg

            重量: 7.3 Kg

            尺寸 長寬高 2 40mm40mm×160mm×230mm 抽氣速率: :>60L/min

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            易用性

            10分

            性價比

            10分
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