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北京樣本
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技術(shù)參數(shù)及要求:
基片尺寸: φ5-100mm圓片,*/大 100×100mm 2 方片
轉(zhuǎn)速: 500-8000轉(zhuǎn)/分
轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性: 1%
旋涂均勻性: 1
旋涂工藝階段: 2 段
旋涂時(shí)間:Ⅰ速0~18S,*/大(0~60S);Ⅱ速0~60S,*/大(0~180S)
整機(jī)尺寸( 長寬高 210 mm × 2 6 0 mm × 275 mm
裸機(jī)尺寸 長寬高 210 mm × 2 6 0 mm × 1 55mm
電機(jī)功率: 40W
適應(yīng)材料:硅片、玻璃、石英、金屬、 GaAs 、 GaN 、 InP 等各種材料
配套 無油真空泵參數(shù):
型號(hào): K W 550A/KW 550T
抽速: 1 .5 升 秒
功率: 3 20W
噪音: 50db
ZUI低真空度: 700mmHg
重量: 7.3 Kg
尺寸 長寬高 2 40mm40mm×160mm×230mm 抽氣速率: :>60L/min
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