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透射電子顯微鏡

透射電鏡

**個(gè)專門用于半導(dǎo)體行業(yè)的TEM

Thermo Scientific Metrios™系統(tǒng)是**臺(tái)透射電子顯微鏡（TEM），專用于提供半導(dǎo)體制造商開(kāi)發(fā)和控制其晶圓制造工藝所需的快速，精確的測(cè)量?；綯EM操作和測(cè)量程序的廣泛自動(dòng)化將對(duì)專業(yè)操作員培訓(xùn)的要求降至*低。其先進(jìn)的自動(dòng)計(jì)量例程比手動(dòng)方法具有更高的精度。與其他TEM相比，Metrios TEM旨在為客戶提供更高的通量和更低的每樣品成本。

半導(dǎo)體的Metrios SEM

大量TEM數(shù)據(jù)，準(zhǔn)確且可重復(fù)-以*低的每次采樣成本

Thermo Scientific Metrios™透射電子顯微鏡（TEM）是**款專門提供半導(dǎo)體制造商開(kāi)發(fā)和控制其晶圓制造工藝所需的快速，精確測(cè)量的TEM。

先進(jìn)的邏輯和存儲(chǔ)器制造過(guò)程越來(lái)越依賴于精確結(jié)構(gòu)和分析數(shù)據(jù)的快速周轉(zhuǎn)，從而能夠快速校準(zhǔn)工具集，診斷良率偏差并優(yōu)化過(guò)程良率。在低于28nm的技術(shù)節(jié)點(diǎn)上，尤其是在實(shí)施非平面器件設(shè)計(jì)的情況下，傳統(tǒng)的SEM或基于光學(xué)的分析和檢查工具無(wú)法提供有用的數(shù)據(jù)。我們的Metrios TEM自動(dòng)執(zhí)行基本的TEM操作和測(cè)量程序，并**限度地減少了對(duì)專業(yè)操作員培訓(xùn)的要求。其先進(jìn)的自動(dòng)計(jì)量例程比手動(dòng)方法具有更高的精度。Metrios TEM旨在以*低的每次樣品成本提供大量TEM數(shù)據(jù)，準(zhǔn)確且可重復(fù)的操作。

Thermo Scientific™Metrios™DX TEM結(jié)合了可靠的技術(shù)和創(chuàng)新的新功能，是半導(dǎo)體和存儲(chǔ)環(huán)境的**平臺(tái)，需要對(duì)越來(lái)越復(fù)雜的結(jié)構(gòu)和不斷縮小的幾何尺寸進(jìn)行大量精確的測(cè)量。

主要好處

始終如一的，可重復(fù)的，精確的，從頭開(kāi)始的設(shè)計(jì)，可提供可重復(fù)的TEM和基于S / TEM的成像，分析和可計(jì)量的計(jì)量，而無(wú)需操作員偏見(jiàn)

保證計(jì)量精度，TEM和S / TEM的畸變和放大率校準(zhǔn)中的組合誤差小于1％

自動(dòng)化的EDS和混合計(jì)量，通過(guò)自動(dòng)化獲取和量化EDS數(shù)據(jù)。在關(guān)鍵的關(guān)鍵尺寸上使用元素對(duì)比來(lái)擴(kuò)展STEM

通過(guò)樣品制備，拔除和成像跟蹤工作流程的連通性，關(guān)鍵過(guò)程數(shù)據(jù)?？梢噪x線應(yīng)用計(jì)量，以**程度地獲取工具。所有成像和計(jì)量數(shù)據(jù)都整合在基于Web的圖像查看器中。