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L79/HCS系統(tǒng)可用于半導(dǎo)體組件性能表征,包括:遷移率,電阻率,載流子濃度和霍爾常數(shù)。
基本型提供不同形狀和溫度條件下所需的樣品支架。選配低溫(液氮)附件結(jié)合高溫爐(溫度可達240°C)可保證所有應(yīng)用領(lǐng)域環(huán)境條件下的測試。永磁體和電磁鐵可提供高達數(shù)個特斯拉強度的固定或者可變磁場。
基于測量軟件可顯示的視窗內(nèi)容包括I-V 和 I-R 數(shù)據(jù)圖.
系統(tǒng)可測試多種材料包括Si, SiGe, SiC, GaAs, InGaAs, InP, GaN (N 型或P型均可測量), 金屬膜, 氧化物等. 樣品測試時便可完成系統(tǒng)功能演示
特點
? 載流子濃度
? 電阻率
? 遷移率
? 電導(dǎo)率
? α (水平電阻值/垂直電阻值)
? 霍爾常數(shù)
? 磁致電阻
輸入電流: | 500nA 到 10mA (500nA 步長) |
霍爾電壓: | 0.5 到 4.5V |
分辨率: | 65pV |
樣品形狀: | 15x15, 20x20, 25x25mm, 高度可達 5mm |
磁場強度: | 可達 1T |
傳感器: | 液氮溫度到 240°C |
暫無數(shù)據(jù)!