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儀器簡(jiǎn)介：

1. 適合做多層薄膜的深度分析。

2. 很好的、耐用的、普通目的的二次離子質(zhì)譜儀。

3. 方便使用。

4. 樣品可以手動(dòng)轉(zhuǎn)換，由于分析速度快所以每天可以分析一定數(shù)量的樣品。

5. 我們的系統(tǒng)可配置快速原子槍?zhuān)刮覀兛梢暂p松處理絕緣的樣品。

6. 我們還可以做元素成像（就象化學(xué)地圖）和混合模式掃描，自動(dòng)測(cè)量正、負(fù)和中性粒子。

7. 我們的系統(tǒng)是典型的超高真空工作臺(tái)，很容易滿(mǎn)足很多其它分析的使用。

結(jié)構(gòu)緊湊，但不損失性能。真正的高性?xún)r(jià)比。

技術(shù)參數(shù)：

質(zhì)量數(shù)范圍：300，510或1000amu

分辨率：5%的谷，兩個(gè)相連的等高峰。

檢測(cè)器：離子計(jì)數(shù)檢測(cè)器，正、負(fù)離子檢測(cè)

檢測(cè)限：1:10E7

質(zhì)量過(guò)濾器：三級(jí)過(guò)濾四極桿（9mm桿）

主離子槍?zhuān)?A，氧離子或其它氣體，能量到5KeV

B，Ga離子槍?zhuān)芰?5KeV（選配）

空間分辨率：A：100～150um

B: 50nm

取樣深度：2個(gè)單分子層（靜態(tài)）

不受限制（動(dòng)態(tài)）

主要特點(diǎn)：

? 高靈敏度脈沖離子計(jì)數(shù)檢測(cè)器，7個(gè)數(shù)量級(jí)的動(dòng)態(tài)范圍

? SIMS 成像，分辨率在微米以下

? 光柵控制，增強(qiáng)深度分析能力

? 所有能量范圍內(nèi)，離子行程的*小擾動(dòng)，及恒定離子傳輸

? 差式泵3級(jí)過(guò)濾四極桿，質(zhì)量數(shù)范圍至1000amu

? 靈敏度高 / 穩(wěn)定的脈沖離子計(jì)數(shù)檢測(cè)器

? Penning規(guī)和互鎖裝置可提供過(guò)壓保護(hù)

? 通過(guò)RS232、RS485或Ethernet LAN，軟件 MASsoft控制