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日本ULVAC公司的蒸發(fā)源(EB槍)均采用磁場偏轉(zhuǎn).并防止蒸發(fā)材料污染的構(gòu)造.
特點推薦EGN系列平頂結(jié)構(gòu)如下:
特點:
一平頂結(jié)構(gòu).防止飛濺.
1平頂結(jié)構(gòu)能讓從坩堝中產(chǎn)生的二次電子很難通過反射飛濺打到基片上.造成污染.
2平頂結(jié)構(gòu)使得人們追求的180度
偏轉(zhuǎn)成為可能.平項結(jié)構(gòu)的電子槍，頂端不易附著沉積物.既便長期使用后會有少許生成，因其沒有
任何羈絆，使得清潔非常容易.
二易于拆解.方便維護.
1通過結(jié)構(gòu)的優(yōu)化，減少使用瑣碎零件的數(shù)量.
意味著后期維護工作的大幅輕減.零件數(shù)量減少35%，既將來的清洗維護的工作量減少35%，
2采用新式結(jié)構(gòu)型零件.
采用了兩點定位的導(dǎo)軌定位銷.不會造成裝錯的現(xiàn)象.讓得普通的操作人員也可以進行拆解/組裝電子槍.
降低維護門檻.
3采用長壽命燈絲.
燈絲壽命是其他公司的三倍.能減少因斷絲而造成的不必要的意外停機.
三數(shù)字式控制系統(tǒng)及快速的滅弧重啟系統(tǒng).
1關(guān)于通過采用數(shù)字化的控制界面調(diào)整發(fā)射功率， 調(diào)整是電子束形狀.保證掃描圖形.并有多種人性化
用戶可操作界面.
2對于蒸發(fā)材料上生成氧化物后，電弧不穩(wěn)，或干脆滅弧的現(xiàn)象，配備有快速重啟功能.速度是其他公司的二十倍之快.
EGN-206M/406MEGP-1G
維護用備件數(shù)量精減.平頂構(gòu)造180度偏轉(zhuǎn)，長壽命燈絲.
冷卻均勻.保證高鍍膜速率.精準轉(zhuǎn)向.穩(wěn)定的長時間
輕松方便地調(diào)整發(fā)射角度保持電子束流中心位置.
安全的地線設(shè)計和形狀.維護后裝回過程
由專業(yè)制具輔助.輕松完成
坩堝定位.
暫無數(shù)據(jù)！
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