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SNE-4500P型掃描電鏡是韓國SEC公司研制的高分辨、自動化、經(jīng)濟的高性能Mini-SEM,具備與大型掃描電鏡同等的分辨率,為SNE-4500M的升級版本。該設(shè)備實現(xiàn)了大電鏡的小型化處理,放大倍率高達10萬倍;裝載易于使用的可變光闌,可達到5nm圖像分辨率,是臺式電鏡中分辨率**的設(shè)備;使用多種探測器,可得到表面形貌信息成像(SE)與材料信息成像(BSE)結(jié)果,適用于質(zhì)量管理、研發(fā)、教育等目的;作為**一款5軸載臺的Mini-SEM, 能同時運用鼠標控制與快捷鍵移動樣品進行全方位分析;機動載臺的“點擊&移動”特性可使圖像獲取更為便捷;能在雙視圖模式下同時對SE/BSE圖像進行查看與存檔。
技術(shù)參數(shù):
電子光學系統(tǒng) | 分辨率 | 5nm (30kV, 二次電子成像) 8nm(30kV, 背散射電子成像)) |
放大倍率 | 20x~150,000X | |
加速電壓 | 1~30kV (1/5/10/15/20/30~6step) | |
探測器 | 二次電子探測器(SE) 背散射電子探測器(BSE) | |
電子槍 | 預(yù)對中鎢燈絲 偏壓系統(tǒng)—自動偏壓系統(tǒng) | |
載臺系統(tǒng) | 載臺運動 | 5軸系統(tǒng) (電動式) X, Y-軸: 40mm / R-軸: 360° Z-軸: 0~40mm Tilt-軸: -15~90° X,Y軸偏移(Max.150μm) |
**樣品尺寸 | 80mm(Φ)*40mm(H) | |
成像系統(tǒng) | 自動功能 | 自動啟動,自動聚焦,自動消像散,自動調(diào)節(jié)對比與亮度 |
圖像格式 | BMP, JPEG, PNG, TIFF | |
相機格式 | CCD相機 | |
真空系統(tǒng) | 真空模式 | 高/低真空 |
真空泵 | 旋轉(zhuǎn)式機械泵/渦輪式分子泵(全自動) | |
尺寸與重量 | 主機 | 390(W)x380(D)x560(H)mm, 88kg |
旋轉(zhuǎn)泵 | 400(W)x160(D)x340(H)mm, 24kg |
暫無數(shù)據(jù)!