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技術參數(shù)：
大范圍高精度掃描探針顯微鏡 安捷倫5500LS
Specifications
Stage
- Standard vacuum chuck size: 150 mm
- Sample thickness: up to 35 mm
- Examination area: 150 mm x 150 mm
- Fully motorized， controlled optics
- Optical resolution: 2 μm
Compatibility
- Compatible with Agilent 5 series family
of products and all AC modes
- Compatible with multi-purpose scanners
- Compatible with CSAFM， STM， and EFM/MFM
- Compatible with imaging in air and fluids， including but not limited to life sciences，
electrochemistry， and corrosion applications
- Compatible with temperature control (-30oC to 250oC)
S c a n n e rs
Large Scanner
- Scanning range: 100 μm x 100 μm
- Z range: 7 μm
- Vertical noise: 0.5Å RMS
Small Scanner
- Scanning range: 10 μm x 10 μm
- Z range: 2 μm
- Vertical noise:<0.1Å RMS
主要特點：
安捷倫大樣品臺原子力顯微鏡可以快速、準確地實現(xiàn)針尖定位和樣品定位。高精度的馬達驅動能幫助您自動準確定位到您感興趣的區(qū)域，同時帶有記憶功能，可以自動迅速而準確地回到原來每個樣品表面成像的位置，便于進行更多的深入研究。同時5500LS能很好地滿足大樣品在空氣、液體和溫度控制下成像。
優(yōu)勢
* 自動的光學縮放與聚焦，使用簡單方便
* 大范圍內(nèi)準確定位，分辨率優(yōu)于2µm
* 150mm真空吸盤（標準），可安放6英寸晶片
* 可提供8英寸大夾具的選件，以適應更大的樣品尺寸
應用
* 半導體：Si晶片、器件
* 數(shù)據(jù)存儲材料：CDs、DVDs、硬盤等等
暫無數(shù)據(jù)！
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工商已核實
