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熱反射方法基于超高速激光閃射系統(tǒng)，可測量基片上金屬、陶瓷、聚合物薄膜的熱物性參數(shù)，如熱擴(kuò)散系數(shù)、熱導(dǎo)率、吸熱系數(shù)和界面熱阻。此系統(tǒng)可測量厚度低至10nm的薄膜。同時，系統(tǒng)提供不同的測量模式，以適應(yīng)于不同的基片情況（透明/不透明）。

性能：

-由于激光閃射時間僅為納秒（ns）量級，甚至可達(dá)到皮秒（ps）量級，此系統(tǒng)可測量厚度低至10nm的薄膜。

-系統(tǒng)提供不同的測量模式，以適應(yīng)于不同的基片情況（透明/不透明）。

RF測量模式：主激光源從反面加熱薄膜，檢測激光從正面測量薄膜的溫度升高過程，從而計算薄膜的導(dǎo)熱性能參數(shù)。此模式適用于透明基片。

FF測量模式：主激光源從正面加熱薄膜，檢測激光從正面測量薄膜的溫度下降過程，從而計算薄膜的導(dǎo)熱性能參數(shù)。此模式適用于不透明基片。

-該方法符合國際標(biāo)準(zhǔn)：

JIS R 1689：通過脈沖激光熱反射方法測量精細(xì)陶瓷薄膜的熱擴(kuò)散系數(shù)；

JIS R 1690：陶瓷薄膜和金屬薄膜界面熱阻的測量方法。

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