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化學(xué)氣相沉積爐品牌
湖南烯瑞產(chǎn)地
湖南樣本
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用途：可用于以碳?xì)錃怏w（如C3H8等）為碳源的復(fù)合材料的化學(xué)氣相沉積，如C/C復(fù)合材料、SiC復(fù)合材料等的CVD、CVI處理.
特點(diǎn)：
●采用先進(jìn)的控制技術(shù)，能精密控制氣體的流量和壓力，爐膛內(nèi)沉積氣流穩(wěn)定，壓力波動(dòng)范圍??；
●采用特殊結(jié)構(gòu)沉積室，密封效果好，抗污染能力強(qiáng)；
●采用多通道沉積氣路，流場(chǎng)均勻，無沉積死角，沉積效果好；
●對(duì)沉積產(chǎn)生的高腐蝕性尾氣、易燃易爆氣體、固體粉塵及低熔點(diǎn)粘性產(chǎn)物能進(jìn)行有效處理；
●采用防腐蝕真空機(jī)組設(shè)計(jì)，持續(xù)工作時(shí)間長(zhǎng)，維修率低。
沉積爐主要配置
●爐門：絲杠升降//液壓升降/；手動(dòng)鎖緊/自動(dòng)鎖圈鎖緊
●爐殼：全碳鋼/內(nèi)層不銹鋼/全不銹鋼
●爐膽：軟碳?xì)?軟石墨氈/硬質(zhì)復(fù)合氈
●加熱器：等靜壓石墨/模壓三高石墨/細(xì)顆粒石墨
●工藝氣路系統(tǒng)：體積/質(zhì)量流量計(jì)；手動(dòng)閥/自動(dòng)閥；進(jìn)口/國(guó)產(chǎn)
●真空泵和真空計(jì)---進(jìn)口/國(guó)產(chǎn)
●人機(jī)界面：觸摸屏/工控機(jī)
●電器元件：正泰/施耐德/西門子
參數(shù)\型號(hào) | JR-CJL-Φ30×50 | JR-CJL-Φ60×80 | JR-CJL-Φ80×120 | JR-CJL-Φ100×150 | JR-CJL-Φ110×200 |
容積（L） | 35 | 226 | 602 | 1177 | 1899 |
**溫度（℃） | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 |
工作區(qū)尺寸D×H（mm） | Φ300×500 | Φ600×800 | Φ800×1200 | Φ1000×1500 | Φ1100×2000 |
控溫方式 | 日本島電溫控儀 | ||||
加熱方式 | 電阻加熱 | ||||
真空系統(tǒng) | 抗污泵或滑閥泵+羅茨泵 | ||||
燒結(jié)氣氛 | 碳?xì)錃怏w等 | ||||
額定電源電壓(V) | 380 | ||||
額定加熱電壓(V) | 根據(jù)設(shè)計(jì)確定，配置爐前變壓器 | ||||
真空極限度(Pa) | 6X10ˉ2（真空冷態(tài)） | ||||
暫無數(shù)據(jù)！
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