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一、概述
SE-Vi是一款集成式原位光譜橢偏儀，針對有機(jī)/無機(jī)鍍 膜工藝研究的需要開發(fā)的原位薄膜在線監(jiān)測中的定制化 開發(fā)，快速實(shí)現(xiàn)光學(xué)薄膜原位表征分析。 |
二、測試案例
實(shí)時監(jiān)測成膜工藝
實(shí)時膜厚表征
三、產(chǎn)品應(yīng)用
■ 廣泛應(yīng)用于金屬薄膜、有機(jī)薄膜、無機(jī)薄膜的物理/化學(xué)氣相沉積，ALD沉積等光學(xué)薄膜工藝過程中實(shí)際原位在線監(jiān)測并實(shí)時反饋測量物性數(shù)據(jù)。
暫無數(shù)據(jù)！
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