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一、概述
SE-Vi是一款集成式原位光譜橢偏儀,針對有機/無機鍍 膜工藝研究的需要開發(fā)的原位薄膜在線監(jiān)測中的定制化 開發(fā),快速實現(xiàn)光學薄膜原位表征分析。 |
二、測試案例
實時監(jiān)測成膜工藝
實時膜厚表征
三、產品應用
■ 廣泛應用于金屬薄膜、有機薄膜、無機薄膜的物理/化學氣相沉積,ALD沉積等光學薄膜工藝過程中實際原位在線監(jiān)測并實時反饋測量物性數(shù)據(jù)。
暫無數(shù)據(jù)!