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產(chǎn)品介紹

FOP MicroPZ微型滲壓計(jì)的設(shè)計(jì)基于微型MOMS(微光學(xué)機(jī)械系統(tǒng))壓力傳感器的非接觸撓度測量技術(shù)，制造MOMS壓力傳感器時(shí)采用了光刻技術(shù)。

MOMS壓力傳感器有一個(gè)柔性隔膜，安裝在密封真空腔體的頂部，其壓力測量原理基于法布里-珀羅白光干涉技術(shù)。法布里-珀羅腔由兩個(gè)反射鏡面組成，一面是柔性隔膜的內(nèi)表面，另一面是固定在引線光纖端面上的基準(zhǔn)光學(xué)表面。壓力會導(dǎo)致法布里-珀羅腔的長度發(fā)生變化。

由于光纖讀數(shù)儀或數(shù)據(jù)記錄儀可以在各種溫度、電磁干擾（EMI）、濕度和振動條件下一致而準(zhǔn)確地測量腔長，因此該系統(tǒng)即使在*惡劣的條件下也能獲得可靠的壓力測量結(jié)果。FOP-MicroPZ滲壓計(jì)裝有不銹鋼保護(hù)套和一塊多孔不銹鋼透水石，從而確保它的機(jī)械堅(jiān)固性，并且不銹鋼透水石能保護(hù)傳感元件不受固體顆粒的影響，從而只感測被測流體的壓力。這款傳感器包括外殼在內(nèi)的總直徑為4.8mm，總長度為54 mm。

這款微型滲壓計(jì)是為工業(yè)和土木工程應(yīng)用而設(shè)計(jì)的。MOMS壓力傳感器是在玻璃和硅片上批量生產(chǎn)的，采用了來自半導(dǎo)體行業(yè)的成熟光刻技術(shù)。

產(chǎn)品特點(diǎn)

• 高分辨率

• 本質(zhì)安全

• 不受電磁干擾（EMI）/射頻干擾（RF）/閃電的影響

• 長期可靠性

• 堅(jiān)固的不銹鋼結(jié)構(gòu)

• 適用于惡劣環(huán)境

• 非常小的直徑(4.8mm)

產(chǎn)品應(yīng)用

• 大壩

• 隧道

• 廢物貯存庫

• 堤防或路堤

技術(shù)規(guī)范