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如圖所示：
Light Source(短相干光源)發(fā)出短相干光束，經(jīng)Beamsplitter分束成兩束光，這兩束光通過(guò)準(zhǔn)直儀聚焦到Measurement arm(測(cè)量臂)和Reference arm(參考臂)上；
在測(cè)量臂段，光束經(jīng)待測(cè)物前后兩表面反射產(chǎn)生兩束反射光；在參考臂段，光束被delay line(延遲線路)中的掃描參考鏡反射。
各反射光束經(jīng)光纖返回到Beamsplitter 中，此時(shí)掃描反射鏡反射的光束分別與R1和R2兩束光發(fā)生干涉產(chǎn)生兩干涉信號(hào)經(jīng)探測(cè)器(光電二級(jí)管)轉(zhuǎn)換為電信號(hào)再由顯示儀顯示。參考鏡位置可以精確移動(dòng)，當(dāng)干涉儀的測(cè)量臂與參考臂光程相等時(shí)，才能夠發(fā)生干涉。這樣通過(guò)監(jiān)控參考鏡的移動(dòng)，就可以 測(cè)量被測(cè)鏡的位置。
1. 非接觸式、非破壞性；
2. 實(shí)時(shí)在線測(cè)量或離線測(cè)量；
3. 可單次測(cè)量多層膜，**可測(cè) 20 層；
4. 探針靈活配置，實(shí)現(xiàn)多個(gè)不同目標(biāo)測(cè)量 （*多可配8個(gè)探頭）；
5. 測(cè)試速度快（1s）
6. 適用范圍廣
型號(hào) | OptiGauge® LT | OptiGauge II | OptiGauge EMS |
測(cè)量范圍（n=1.5） | 12μm to 3.3 mm | 12μm to 12 mm | 12μm to 35 mm |
測(cè)量層數(shù) | 1 | 20 | 20 |
**精度 | ±1μm | ±0.1μm | ±0.1μm |
重復(fù)精度 | 1μm 1σ | 0.1μm 1σ | 0.1μm 1σ |
掃描速率 | 50Hz | 50Hz，100Hz 和200Hz可選 | 20Hz |
光源 | 1310nm SLED 45nm wide | 1310nm SLED 45nm wide | 1310nm SLED 45nm wide |
測(cè)量頭工作距離 | 25mm and 50mm | 25mm and 50mm | 25mm and 50mm |
光纖長(zhǎng)度 | 3m，max 1000m | 3m，max 1000m | 3m，max 1000m |
Lumetrics 產(chǎn)品既可以提供獨(dú)立的測(cè)量頭，也可以集成在各種設(shè)備中，廣泛應(yīng)用在以下領(lǐng)域，
1、光電子行業(yè)：
2 、薄膜行業(yè)：測(cè)量塑料薄膜的厚度
3 、醫(yī)療行業(yè)：測(cè)量滴液管、塑料管壁厚、糖尿試紙、血袋等
4、單件元件厚度控制（特別適用于紅外材料，測(cè)量厚度控制平行度）
5 、平板玻璃厚度測(cè)試：浮法玻璃、液晶平板 透鏡中心厚及膠合間隙測(cè)量
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