非金屬電熱元件：
其他金屬電熱元件：
其他燒結(jié)氣氛：
其他溫控精度：
≤±4℃最高溫度：
2200℃額定溫度：
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產(chǎn)品介紹
氮化硅陶瓷基板爐具有高穩(wěn)定性、高人性化、低維護(hù)的特點，采用非接觸式高溫測量、真空系統(tǒng)過濾保護(hù)、獨特尾氣處理設(shè)計。主要用于氮化硅流延基板先進(jìn)材料等進(jìn)行真空，脫氣、加壓致密化等，廣泛應(yīng)用于航天航空、電子電器半導(dǎo)體等領(lǐng)域。
產(chǎn)品參數(shù)
| 裝料空間（W*H*L） | 600*600*1400 |
| 溫度均勻性 | ≤±4℃ |
| **工作溫度 | 2200℃ |
| **工作壓力 | 2MPa |
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