設(shè)計標(biāo)準(zhǔn):
-出口直徑(mm):
-進(jìn)口直徑(mm):
-泵軸位置:
其他驅(qū)動方式:
其他輸送物料:
-連接方式:
其他材質(zhì):
其他口徑:
-壓力:
-虛擬號將在 180 秒后失效
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· 概況原理
渦旋真空泵主要由固定渦旋盤與驅(qū)動渦旋盤構(gòu)成。驅(qū)動渦旋盤在固定渦旋盤中轉(zhuǎn)動,產(chǎn)生一個旋轉(zhuǎn)輸送動作,將氣體從渦旋盤外緣吸入,然后將其在兩個渦旋盤間壓縮并輸送至渦旋盤中央。
該工作原理無需任何潤滑,實現(xiàn)了完全干式壓縮。由于軸承與壓縮腔室分離,抽送的氣體能夠保持清潔,不會被軸承潤滑脂污染。另外,其緊湊的設(shè)計 (≤ 1x10-6 mbar L/s) 能夠防止抽送的氣體被外界空氣污染。日常的維護(hù)僅限于更換渦旋盤端面密封條。操作人員無需任何專用工具,在幾分鐘內(nèi)便可完成更換。
· 主要特點
1. 抽速范圍廣,從1 L/s到16 L/s;
2. 極限真空度達(dá)到1 Pa;
3. 全無油,不返油,低能耗
4. 體積小、重量輕
· 主要用途
1. 分析測試儀器/能譜儀/掃描電鏡
2. 真空鍍膜(PVD/CVD/LPD等)
3. LED/LCD/激光管抽真空與封裝
4. 電子束焊接/激光焊接
5. 真空爐/單晶爐/烘箱
6. 手套箱/排氣臺
7. 預(yù)處理室/樣品傳輸室抽真空
8. He質(zhì)譜檢漏
9. 空間環(huán)境模擬
10. 分子泵前級
11.冷凝泵再生
暫無數(shù)據(jù)!