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硅片拋光機(jī)
硅片拋光機(jī)工作原理：
本系列硅片拋光機(jī)由四個(gè)吸附盤吸附硅片與拋光盤做逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)來達(dá)到拋光的目的。
硅片拋光機(jī)特點(diǎn)：
1.本系列拋光機(jī)的吸附盤由四臺(tái)單獨(dú)的電機(jī)驅(qū)動(dòng)、速度與壓力可調(diào)。
2.控制系統(tǒng)中采用PLC彩色終端等先進(jìn)技術(shù)，系統(tǒng)的響應(yīng)速度更快、更精確，并具有遠(yuǎn)程監(jiān)控，遠(yuǎn)程維護(hù)的功能；
3.本系列拋光機(jī)運(yùn)行平穩(wěn)，拋光后的產(chǎn)品厚度公差可控制在正負(fù)0.002mm范圍內(nèi)，粗糙度可達(dá)到0.0005mm。
硅片拋光機(jī)特點(diǎn)：1.本系列拋光機(jī)的吸附盤由四臺(tái)單獨(dú)的電機(jī)驅(qū)動(dòng)、速度與壓力可調(diào)。2.控制系統(tǒng)中采用PLC彩色終端等先進(jìn)技術(shù)，系統(tǒng)的響應(yīng)速度更快、更精確，并具有遠(yuǎn)程監(jiān)控，遠(yuǎn)程維護(hù)的功能；
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