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隨著社會(huì)的不斷進(jìn)步，世界已進(jìn)入信息化時(shí)代。而信息技術(shù)的快速發(fā)展成功推進(jìn)了科學(xué)技術(shù)的發(fā)展和國(guó)民經(jīng)濟(jì)的跨越。信息技術(shù)包括了測(cè)量技術(shù)、計(jì)算機(jī)技術(shù)和通信技術(shù)，其中測(cè)量技術(shù)是關(guān)鍵和基礎(chǔ)。所以我們可以說(shuō)，儀器儀表（特別是測(cè)量行儀器儀表）是信息產(chǎn)業(yè)的源頭的重要組成部分。

以高反射曲面零件的超精密加工來(lái)說(shuō)，準(zhǔn)確測(cè)量和評(píng)價(jià)加工件，對(duì)提高加工件表面的質(zhì)量和產(chǎn)品性能具有重要意義。但現(xiàn)有的接觸式測(cè)量方法具有測(cè)量速度慢、易劃傷測(cè)量表面的缺點(diǎn)，而單一的光學(xué)非接觸測(cè)量方法難以完成對(duì)大面形或曲率較大的高反射曲面零件三維形貌的高精度測(cè)量。

中圖儀器SuperView W1非接觸式輪廓測(cè)量?jī)x一體化操作的測(cè)量與分析軟件，操作無(wú)須進(jìn)行切換界面，預(yù)先設(shè)置好配置參數(shù)再進(jìn)行測(cè)量，軟件自動(dòng)統(tǒng)計(jì)測(cè)量數(shù)據(jù)并提供數(shù)據(jù)報(bào)表導(dǎo)出功能，可快速實(shí)現(xiàn)超精密加工高反射曲面三維形貌的高精度非接觸測(cè)量。

產(chǎn)品參數(shù)

技術(shù)指標(biāo)

產(chǎn)品性能特征

1、高精度、高重復(fù)性

3D重建算法、精密Z向掃描模塊和光學(xué)干涉技術(shù)組成的測(cè)量系統(tǒng)，能夠保證高測(cè)量精度，還有能夠有效隔離2Hz頻率以上絕大部分振動(dòng)的隔振系統(tǒng)，能保證測(cè)量結(jié)果的測(cè)量重復(fù)性。

2、一體化操作的測(cè)量分析軟件

測(cè)量數(shù)據(jù)自動(dòng)統(tǒng)計(jì)，便于用戶實(shí)時(shí)觀察掃描過(guò)程的可視化窗口、結(jié)合自定義分析模板的自動(dòng)化測(cè)量功能，可自動(dòng)完成多區(qū)域的測(cè)量與分析過(guò)程，實(shí)現(xiàn)了快速批量測(cè)量的功能；

3、精密操縱手柄

集成X、Y、Z三個(gè)方向位移調(diào)整功能的操縱手柄，可快速完成載物臺(tái)平移、Z向聚焦、找條紋等測(cè)量前工作。

4、雙重防撞保護(hù)措施

（1）Z軸硬件防撞傳感器

在鏡頭的上方安裝有機(jī)械防撞傳感器，當(dāng)鏡頭向下位移與樣品表面直接接觸時(shí)，觸發(fā)感應(yīng)器，鏡頭與樣品表面變?yōu)檐浗佑|，并觸發(fā)緊急停止開(kāi)關(guān)，不再響應(yīng)向下位移的指令，避免鏡頭和樣品的損傷，雙重防護(hù)，守護(hù)設(shè)備和產(chǎn)品，也守護(hù)每一分價(jià)值和信任。

（2）軟件防撞保護(hù)ZSTOP

ZSTOP，顧名思義，就是軟件設(shè)置在Z軸上的停止位，設(shè)置位置到樣品表面的距離小于鏡頭的工作距離，當(dāng)鏡頭運(yùn)動(dòng)到該位置時(shí)，就立刻停止不再向下運(yùn)動(dòng)，起到保護(hù)樣品和鏡頭的作用。

5、雙通道氣浮隔振系統(tǒng)

既可以接入客戶現(xiàn)場(chǎng)的穩(wěn)定氣源也可以接入標(biāo)配靜音空壓機(jī)，在無(wú)外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作。

中圖儀器SuperView W1非接觸式輪廓測(cè)量?jī)x實(shí)現(xiàn)了超精密加工高反射曲面三維形貌的高精度非接觸測(cè)量。廣泛應(yīng)用于如航空航天、納米材料、半導(dǎo)體等各類精密工件表面質(zhì)量要求高的領(lǐng)域中，可以說(shuō)只有非接觸式輪廓測(cè)量?jī)x才能達(dá)到微型范圍內(nèi)重點(diǎn)部位的納米級(jí)粗糙度、輪廓等參數(shù)的測(cè)量。