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        1200-PE60 PECVD系統(tǒng)
        1200-PE60 PECVD系統(tǒng)

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        1200-PE60 PECVD系統(tǒng)

        PECVD系統(tǒng)就是為了使傳統(tǒng)的化學(xué)氣象沉積(CVD)反應(yīng)溫度降低,在普通CVD裝置的前端加入RF射頻感應(yīng)裝置將反應(yīng)氣體電離,形成等離子體,利用等離子體的活性來促進(jìn)反應(yīng),所以這個系統(tǒng)稱為增強(qiáng)型化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(PECVD)。    該型號PECVD綜合了國內(nèi)大多數(shù)廠家的管式PECVD系統(tǒng)的優(yōu)點(diǎn),在PECVD前端加入了氣體預(yù)熱區(qū),實(shí)驗(yàn)證明此結(jié)構(gòu)沉積速度快,成膜質(zhì)量好,針孔較少,不易龜裂。

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        河南創(chuàng)合管式爐箱式爐走進(jìn)安徽大學(xué)

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