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PECVD系統(tǒng)就是為了使傳統(tǒng)的化學氣象沉積（CVD）反應溫度降低，在普通CVD裝置的前端加入RF射頻感應裝置將反應氣體電離，形成等離子體，利用等離子體的活性來促進反應，所以這個系統(tǒng)稱為增強型化學氣相沉積系統(tǒng)（PECVD）。 該型號PECVD綜合了國內大多數(shù)廠家的管式PECVD系統(tǒng)的優(yōu)點，在PECVD前端加入了氣體預熱區(qū)，實驗證明此結構沉積速度快，成膜質量好，針孔較少，不易龜裂。
暫無數(shù)據(jù)！
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1200-PE60 PECVD系統(tǒng)的工作原理介紹？1200-PE60 PECVD系統(tǒng)的使用方法？1200-PE60 PECVD系統(tǒng)多少錢一臺？1200-PE60 PECVD系統(tǒng)使用的注意事項1200-PE60 PECVD系統(tǒng)的說明書有嗎？1200-PE60 PECVD系統(tǒng)的操作規(guī)程有嗎？1200-PE60 PECVD系統(tǒng)的報價含票含運費嗎？1200-PE60 PECVD系統(tǒng)有現(xiàn)貨嗎？1200-PE60 PECVD系統(tǒng)包安裝嗎？
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