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            1200℃三溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)
            1200℃三溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)

            參考價(jià)格

            面議

            型號(hào)

            OTF-1200X-80-III-F3LV

            品牌

            科晶

            產(chǎn)地

            安徽

            樣本

            暫無
            合肥科晶材料技術(shù)有限公司

            會(huì)員

            |

            第5年

            |

            生產(chǎn)商

            工商已核實(shí)

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            1200℃三溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)

            • 型號(hào):

            • OTF-1200X-80-III-F3LV

            • 產(chǎn)品概述:

            • OTF-1200X-80-III-F3LV是一款CE認(rèn)證的三溫區(qū)管式爐CVD系統(tǒng),其管徑為80mm,采用機(jī)械泵,它是由管式爐,三路浮子流量供氣系統(tǒng)組成,其真空度可達(dá)到 10-2 torr。

            殼體結(jié)構(gòu)

            · 雙層殼體結(jié)構(gòu)并帶有風(fēng)冷,使得殼體的表面溫度小于60

            · 保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維,可以減少熱量的損失,環(huán)保節(jié)能

            · 內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口的1750度高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率,同時(shí)也可以延長(zhǎng)儀器的使用壽命

            可開啟式,更換爐管方便

            功率

            5 KW

            電壓

            AC 208-240V單相, 50/60 Hz

            加熱元件

            Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo

            **工作溫度

            1200℃

            連續(xù)工作溫度

            1100℃

            **加熱速率

             ≤20  ℃/min

            石英管& 密封法蘭

            · 80 mm O.D x 72 mm ID. x 1219 mm包含在儀器內(nèi)

            · 儀器上已經(jīng)安裝有不銹鋼真空密封法蘭,壓力表和閥門(點(diǎn)擊下面的圖片查看詳細(xì)的信息)

            · blob.png

            加熱區(qū)長(zhǎng)度

            · 三個(gè)溫區(qū)長(zhǎng)度: (880mm, 35" in total)

            · 溫區(qū) 1: 220mm  (8.6" )  

            · 溫區(qū) 2: 440mm  (17.3")

            溫區(qū) 3: 220 mm (8.6") 注:由于測(cè)量手段及外部環(huán)境的影響,測(cè)量結(jié)果可能會(huì)有偏差,此參數(shù)僅供參考不作為該設(shè)備的技術(shù)指標(biāo)。您購買產(chǎn)品需要準(zhǔn)確的恒溫區(qū)數(shù)據(jù),請(qǐng)與我公司銷售人員聯(lián)系

            溫控系統(tǒng)


            · 三個(gè)精密溫度控制器,可獨(dú)立控溫

            · PID控制方式,通過PWM固體繼電器。

            · 30段可編程智能溫度調(diào)節(jié)儀,并可設(shè)置30段升降溫程序.

            · 帶有過熱和斷偶保護(hù)功能

            控溫儀表操作視頻

            控溫精度

            +/- 1℃


            真空密封系統(tǒng)

            · 兩個(gè)不銹鋼密封法蘭(上面已安裝真空計(jì)和截止閥).

            · 通過機(jī)械泵真空度可以達(dá)到 5.5 m-torr. ( 5.5x10-3 torr).如果使用機(jī)械泵和分子泵,真空度可以達(dá)到10-4 torr.

            · 漏氣率 < 5 m-torr / min

            · blob.png

            真空泵

            采用雙旋機(jī)械泵,機(jī)械泵上安裝有進(jìn)口的油污過濾器,可以過濾真空泵工作時(shí)產(chǎn)生的油煙,減少泵油的損耗,保護(hù)環(huán)境和人體健康,過濾的*小微粒直徑為0.3微米
                 
            blob.png

            數(shù)字式真空顯示計(jì)

            可選:本公司進(jìn)口的防腐型數(shù)字式真空顯示計(jì),其測(cè)量范圍為3.8x10-5  1125 Torr. 不需因測(cè)量氣體種類不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換
                 
            blob.png

            氣體流量計(jì)和壓力表

            · 三個(gè)浮子流量計(jì),能夠檢測(cè)到氣體的流          

            · 三路浮子量程分別為

            · 10-100 cc/min.

            · 16-160 cc/min.

            · 25-250 cc/min

            · 內(nèi)部安裝有一混氣罐

            有一壓力表安裝在浮子流量供氣系統(tǒng)側(cè)面上,可以檢測(cè)氣體壓力及混合槽的壓力

            閥門

            四個(gè)不銹鋼閥門安裝在浮子流量供氣系統(tǒng)側(cè)面上,用于控制氣體的流量

            外形尺寸

            · 爐子: 1100 X 450 x 670mm

            底部移動(dòng)架: 600x600x597mm

            開門斷電

            為保證使用安全,該電爐為開門斷電設(shè)計(jì)
                  
            blob.png 

            凈重

             90 Kg

            運(yùn)輸重量

            245 lbs

            質(zhì)保期

            一年質(zhì)保期,相關(guān)耗材除外,如爐管,密封圈,等易耗件

            質(zhì)量認(rèn)證

            blob.png CE certified

            使用注意事項(xiàng)

            · 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa

            · 由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí),氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全

            · 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí),爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng),保持在常壓狀態(tài)

            · 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊

            · 石英管的長(zhǎng)時(shí)間使用溫度<1100℃

            對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn),不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱,則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐管破裂,法蘭飛出等)


            創(chuàng)新點(diǎn)

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            產(chǎn)品質(zhì)量

            10分

            售后服務(wù)

            10分

            易用性

            10分

            性價(jià)比

            10分
            評(píng)論內(nèi)容
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