參考價格
面議型號
PECVD品牌
產(chǎn)地
樣本
暫無看了PECVD尾氣燃燒凈化塔的用戶又看了
留言詢價
虛擬號將在 180 秒后失效
使用微信掃碼撥號
一、硅烷的性質(zhì)
硅烷也稱矽烷，是化學(xué)分子式為SiH4的一種化合物，該氣體無色無臭，密度1.44克/升，熔點-185℃，沸點-111.8℃，不溶于水。在室溫下硅烷是一種易燃的氣體，在空氣中無需加火源，硅烷就可以自燃，生成二氧化硅和水，并放出大量的熱量，可被一般氧化劑氧化。
二、燃燒塔原理
本燃燒塔采用燃燒洗滌法凈化硅烷氣體，它分別有一級燃燒塔和二級燃燒洗滌塔組成。
根據(jù)硅烷(矽烷)在空氣中自燃的特性，特在燃燒塔中設(shè)置密閉燃燒室，為保證硅烷在燃燒室內(nèi)充分燃燒，必須保證燃燒塔內(nèi)負(fù)壓，控制在-100Pa左右。
三、適用范圍
我公司生產(chǎn)的硅烷燃燒塔，主要用于單晶硅、多晶硅行業(yè)生產(chǎn)中產(chǎn)生的硅烷尾氣凈化。該設(shè)備的成功應(yīng)用，主要是我公司技術(shù)人員對國外半導(dǎo)體行業(yè)凈化硅烷尾氣技術(shù)方面的消化吸收，來滿足國內(nèi)太陽能、光能行業(yè)，半導(dǎo)體行業(yè)及CVD化學(xué)氣體沉積工藝中產(chǎn)生的硅烷氣體凈化,有圓形和方形可選。
暫無數(shù)據(jù)！
PECVD尾氣燃燒凈化塔的工作原理介紹？PECVD尾氣燃燒凈化塔的使用方法？PECVD尾氣燃燒凈化塔多少錢一臺？PECVD尾氣燃燒凈化塔使用的注意事項PECVD尾氣燃燒凈化塔的說明書有嗎？PECVD尾氣燃燒凈化塔的操作規(guī)程有嗎？PECVD尾氣燃燒凈化塔的報價含票含運費嗎？PECVD尾氣燃燒凈化塔有現(xiàn)貨嗎？PECVD尾氣燃燒凈化塔包安裝嗎？
手機(jī)版：
工商已核實
