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        RTP快速退火爐
        RTP快速退火爐

        參考價(jià)格

        1-5萬元

        型號(hào)

        RTP1100

        品牌

        產(chǎn)地

        鄭州

        樣本

        暫無
        河南成儀設(shè)備科技有限公司

        會(huì)員

        |

        第7年

        |

        生產(chǎn)商

        工商已核實(shí)

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        快速熱處理退火爐簡(jiǎn)稱 RTP(Rapid Thermal Processing Furnace),由我公司借鑒了國(guó)際先進(jìn)制造工藝,在管式爐的基礎(chǔ)上自主研發(fā)而成。這款不但擁有很快升溫速率100℃/S,而且降溫速率也有了質(zhì)的飛躍,降溫速率100℃/S。我們的工程師們巧妙的設(shè)計(jì)工藝使得冷卻氣體直接對(duì)著樣品直吹,以至于達(dá)到如此快的降溫速度。真正的極速升溫和極速降溫!

        此款設(shè)備采用了成儀自主研發(fā)的智能AIO(All In One)控制系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)了爐膛自動(dòng)左右移動(dòng),爐膛在左側(cè)加熱到設(shè)定溫度后,直接移動(dòng)到右側(cè)樣品區(qū)域,實(shí)現(xiàn)樣品快速升溫,樣品加熱到設(shè)定溫度和時(shí)間后,爐膛自動(dòng)移開樣品加熱區(qū),實(shí)現(xiàn)樣品的快速降溫。成儀AIO智能控制系統(tǒng)不但實(shí)現(xiàn)了真空系統(tǒng)開啟、保護(hù)氣氛通斷以及冷卻氣體通斷的自動(dòng)協(xié)調(diào)控制,而且還能自動(dòng)平衡爐管內(nèi)的壓力大小,真正實(shí)現(xiàn)了操作方便,而且安全可靠。

        功能舉例:樣品加熱到1000℃后,爐膛自動(dòng)移開加熱區(qū),冷卻氣體自動(dòng)打開直吹樣品表面實(shí)現(xiàn)極速降溫,樣品溫度降到70℃時(shí)自動(dòng)關(guān)閉冷卻氣體。然后爐膛移動(dòng)到加熱區(qū)繼續(xù)加熱,如此往復(fù),往復(fù)次數(shù)可用戶自定義。真空系統(tǒng)可根據(jù)用戶設(shè)定溫度自動(dòng)開啟和關(guān)閉。


        應(yīng)用領(lǐng)域

        速熱退火 (RTA); 離子注入后退火

        石墨烯等氣象沉積,碳納米管等外延生長(zhǎng)

        快速熱氧化 (,RTO); 熱氮化 (RTN);

        硅化 (Silicidation);

        擴(kuò)散 (Diffusion);

        離子注入后退火 (Implant Annealing);

        電極合金化 (Contact Alloying);

        晶向化和堅(jiān)化 (Crystallization and Densification);

            
        主要特點(diǎn)

        極速升溫100℃/S,極速降溫100℃/S;

        雙層爐管結(jié)構(gòu),氣氛與樣品接觸更均勻;

        直接測(cè)量樣品表面溫度,測(cè)溫更精準(zhǔn);

        爐膛根據(jù)設(shè)置可自動(dòng)左右移動(dòng),可以滿足更多的實(shí)驗(yàn)應(yīng)用;

        樣品實(shí)際溫度數(shù)據(jù)可通過手機(jī)APP導(dǎo)出excel表格;

        技術(shù)參數(shù):


        產(chǎn)品名稱

        RTP多功能快速退火爐

        產(chǎn)品型號(hào)

        RTP1100-M

        額定溫度

        1100℃

        溫場(chǎng)均勻性

        ±10℃

        爐膛升溫速率

        ≥100℃/S

        *快降溫速率

        ≥100℃/S

        控溫方式

        爐膛與樣品要分別控溫,兩個(gè)測(cè)溫點(diǎn)

        爐膛移動(dòng)方式

        根據(jù)用戶樣品設(shè)定溫度自動(dòng)左右移動(dòng),往復(fù)次數(shù)可調(diào)節(jié)

        操控系統(tǒng)

        智能AIO操作系統(tǒng)、PID控制(可選)

        操作界面

        7英寸觸摸屏

        加熱方式

        短波紅外線加熱

        加熱腔體結(jié)構(gòu)

        雙層石英管

        外管直徑

        100mm

        內(nèi)管直徑

        80mm

        氣體保護(hù)方式

        外管進(jìn)氣,內(nèi)管出氣

        壓力保護(hù)

        管內(nèi)自動(dòng)恒壓(0.8~1.2個(gè)大氣壓任意可調(diào))可選)

        樣品冷卻

        加熱后爐膛自動(dòng)移開,冷氣打開直吹樣品,降到設(shè)定溫度自動(dòng)關(guān)閉冷卻氣體。可選)

        冷卻氣體調(diào)節(jié)

        浮子流量計(jì)(100~1000ml/min)可選)

        超溫保護(hù)

        溫度出現(xiàn)過高時(shí)切斷主回路

        式樣有效空間

        90*100mm

        真空系統(tǒng)

        8L/S雙級(jí)聯(lián)真空系統(tǒng)可選)

        整機(jī)真空度

        0.5Pa

        真空啟動(dòng)方式

        根據(jù)程序設(shè)置自動(dòng)啟停可選)

        抽氣端口尺寸

        KF16

        供氣口尺寸

        1/4英寸雙卡套

        法蘭冷卻方式

        水冷(短時(shí)間無需水冷)

        真空顯示

        數(shù)字真空壓力表

        上位機(jī)操控

        基于安卓系統(tǒng)APP可選)

        數(shù)據(jù)導(dǎo)出方式

        APP導(dǎo)出Excel表格可選)

        額定功率

        12kw

        外形尺寸

        950*500*560mm

        重量

        50kg

        配件

        管堵2支,法蘭水冷套1支,耐溫手套1雙,坩堝鉗1把,說明書1本。



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        產(chǎn)品質(zhì)量

        10分

        售后服務(wù)

        10分

        易用性

        10分

        性價(jià)比

        10分
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