參考價(jià)格
1-5萬元型號(hào)
RTP1100品牌
產(chǎn)地
鄭州樣本
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快速熱處理退火爐簡(jiǎn)稱 RTP(Rapid Thermal Processing Furnace),由我公司借鑒了國(guó)際先進(jìn)制造工藝,在管式爐的基礎(chǔ)上自主研發(fā)而成。這款不但擁有很快的升溫速率100℃/S,而且降溫速率也有了質(zhì)的飛躍,降溫速率100℃/S。我們的工程師們巧妙的設(shè)計(jì)工藝使得冷卻氣體直接對(duì)著樣品直吹,以至于達(dá)到如此快的降溫速度。真正的極速升溫和極速降溫!
此款設(shè)備采用了成儀自主研發(fā)的智能AIO(All In One)控制系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)了爐膛自動(dòng)左右移動(dòng),爐膛在左側(cè)加熱到設(shè)定溫度后,直接移動(dòng)到右側(cè)樣品區(qū)域,實(shí)現(xiàn)樣品快速升溫,樣品加熱到設(shè)定溫度和時(shí)間后,爐膛自動(dòng)移開樣品加熱區(qū),實(shí)現(xiàn)樣品的快速降溫。成儀AIO智能控制系統(tǒng)不但實(shí)現(xiàn)了真空系統(tǒng)開啟、保護(hù)氣氛通斷以及冷卻氣體通斷的自動(dòng)協(xié)調(diào)控制,而且還能自動(dòng)平衡爐管內(nèi)的壓力大小,真正實(shí)現(xiàn)了操作方便,而且安全可靠。
功能舉例:樣品加熱到1000℃后,爐膛自動(dòng)移開加熱區(qū),冷卻氣體自動(dòng)打開直吹樣品表面實(shí)現(xiàn)極速降溫,樣品溫度降到70℃時(shí)自動(dòng)關(guān)閉冷卻氣體。然后爐膛移動(dòng)到加熱區(qū)繼續(xù)加熱,如此往復(fù),往復(fù)次數(shù)可用戶自定義。真空系統(tǒng)可根據(jù)用戶設(shè)定溫度自動(dòng)開啟和關(guān)閉。
應(yīng)用領(lǐng)域
? 快速熱退火 (RTA); 離子注入后退火
? 石墨烯等氣象沉積,碳納米管等外延生長(zhǎng)
? 快速熱氧化 (,RTO); 熱氮化 (RTN);
? 硅化 (Silicidation);
? 擴(kuò)散 (Diffusion);
? 離子注入后退火 (Implant Annealing);
? 電極合金化 (Contact Alloying);
? 晶向化和堅(jiān)化 (Crystallization and Densification);
主要特點(diǎn)
? 極速升溫100℃/S,極速降溫100℃/S;
? 雙層爐管結(jié)構(gòu),氣氛與樣品接觸更均勻;
? 直接測(cè)量樣品表面溫度,測(cè)溫更精準(zhǔn);
? 爐膛根據(jù)設(shè)置可自動(dòng)左右移動(dòng),可以滿足更多的實(shí)驗(yàn)應(yīng)用;
? 樣品實(shí)際溫度數(shù)據(jù)可通過手機(jī)APP導(dǎo)出excel表格;
技術(shù)參數(shù):
產(chǎn)品名稱 | RTP多功能快速退火爐 |
產(chǎn)品型號(hào) | RTP1100-M |
額定溫度 | 1100℃ |
溫場(chǎng)均勻性 | ±10℃ |
爐膛升溫速率 | ≥100℃/S |
*快降溫速率 | ≥100℃/S |
控溫方式 | 爐膛與樣品要分別控溫,兩個(gè)測(cè)溫點(diǎn) |
爐膛移動(dòng)方式 | 根據(jù)用戶樣品設(shè)定溫度自動(dòng)左右移動(dòng),往復(fù)次數(shù)可調(diào)節(jié) |
操控系統(tǒng) | 智能AIO操作系統(tǒng)、PID控制(可選) |
操作界面 | 7英寸觸摸屏 |
加熱方式 | 短波紅外線加熱 |
加熱腔體結(jié)構(gòu) | 雙層石英管 |
外管直徑 | 100mm |
內(nèi)管直徑 | 80mm |
氣體保護(hù)方式 | 外管進(jìn)氣,內(nèi)管出氣 |
壓力保護(hù) | 管內(nèi)自動(dòng)恒壓(0.8~1.2個(gè)大氣壓任意可調(diào))(可選) |
樣品冷卻 | 加熱后爐膛自動(dòng)移開,冷氣打開直吹樣品,降到設(shè)定溫度自動(dòng)關(guān)閉冷卻氣體。(可選) |
冷卻氣體調(diào)節(jié) | 浮子流量計(jì)(100~1000ml/min)(可選) |
超溫保護(hù) | 溫度出現(xiàn)過高時(shí)切斷主回路 |
式樣有效空間 | 90*100mm |
真空系統(tǒng) | 8L/S雙級(jí)聯(lián)真空系統(tǒng)(可選) |
整機(jī)真空度 | 0.5Pa |
真空啟動(dòng)方式 | 根據(jù)程序設(shè)置自動(dòng)啟停(可選) |
抽氣端口尺寸 | KF16 |
供氣口尺寸 | 1/4英寸雙卡套 |
法蘭冷卻方式 | 水冷(短時(shí)間無需水冷) |
真空顯示 | 數(shù)字真空壓力表 |
上位機(jī)操控 | 基于安卓系統(tǒng)APP(可選) |
數(shù)據(jù)導(dǎo)出方式 | APP導(dǎo)出Excel表格(可選) |
額定功率 | 12kw |
外形尺寸 | 950*500*560mm |
重量 | 50kg |
配件 | 管堵2支,法蘭水冷套1支,耐溫手套1雙,坩堝鉗1把,說明書1本。 |
暫無數(shù)據(jù)!