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先進(jìn)的功能特性：
●  靈活的電極設(shè)計(jì)保證了工藝的均勻性
●  使用Windows系統(tǒng)的工業(yè)計(jì)算機(jī)控制
●  觸摸屏操作，圖形用戶界面（GUI）
●  菜單驅(qū)動(dòng)式工藝過(guò)程
●  繪圖和自診斷功能
●  以太網(wǎng)通訊功能
●  節(jié)能模式
●  工藝編輯軟件提供了快速靈活的步驟控制功能
●  安裝簡(jiǎn)單快捷

規(guī)格參數(shù) 
工作腔室材料：                    鋁
容積：                                36.5 升
內(nèi)部尺寸：                            229 x 330 x 483 mm
　　　　　　　   
可選電極
● 可抽卸的多層電極板
● 垂直電極
● 3層溫控電極
● 低微粒電極
● 次級(jí)等離子體電極

工藝氣體 
質(zhì)量流量控制計(jì)：                                *多至6路氣體
工藝壓力：                                         200-2000 mTorr(取決于真空泵和氣體流量)
抽真空時(shí)間：                                      大約1分鐘 (取決于真空泵)
放氣：                                               可調(diào)
射頻發(fā)生器：                                      風(fēng)冷13.56MHz,600 瓦(標(biāo)準(zhǔn)配置)
供給需求電源：　　　　　                     220V 單相,2.3 KW, 50Hz
工藝氣體：                                         輸入壓力 1-2 bar
吹掃氣體：                                         輸入壓力 1-2 bar
壓縮空氣：                                         輸入壓力 4-6 bar
尺寸：                                               寬/高/深 775 x 723 x 781 mm（不含泵）
重量：                                               約157千克（不含泵）

可選項(xiàng)
● 壓力控制器
● 1%精度的真空規(guī)
● 指示燈柱
● 條形碼閱讀器
● 工藝氣體切換器
● 光譜終點(diǎn)檢測(cè)器
● 300 瓦13.56 MHz射頻發(fā)生器
● 水冷機(jī)
● 單體處理裝置
● 真空泵（油泵或干泵）
● 氣相MFC