前言
CMP拋光在半導(dǎo)體制造過程中占據(jù)著舉足輕重的地位,其發(fā)展水平直接影響著半導(dǎo)體器件的性能與品質(zhì)。隨著全球半導(dǎo)體市場(chǎng)的持續(xù)擴(kuò)大,CMP拋光技術(shù)的重要性也日益凸顯。
關(guān)鍵技術(shù)
8月28日,住友化學(xué)宣布成功開發(fā)出一種高純氧化鋁的量產(chǎn)技術(shù)。
陶瓷基板往往需要適應(yīng)更嚴(yán)苛的工作環(huán)境,這對(duì)陶瓷基板的表面粗糙度、平整度等提出了更高的要求。
產(chǎn)業(yè)動(dòng)態(tài)
鼎龍股份控股子公司鼎匯微電子CMP拋光墊產(chǎn)品銷售持續(xù)保持增長(zhǎng)態(tài)勢(shì),并于2024年5月首次實(shí)現(xiàn)拋光硬墊單月銷量破2萬片的單月歷史新高。
金太陽子公司:已完成半導(dǎo)體級(jí)拋光液的性能驗(yàn)證并具備量產(chǎn)能力。
萬華化學(xué)集團(tuán)股份有限公司申請(qǐng)一項(xiàng)名為“一種長(zhǎng)時(shí)間高速率的鎢化學(xué)機(jī)械拋光液及其應(yīng)用“,公開號(hào)CN117947422A
近日,深圳中機(jī)新材料有限公司完成過億元A輪融資,本輪融資資金將用于產(chǎn)線升級(jí)、人才引進(jìn)及市場(chǎng)推廣等。
普瑞昇新材完成千萬元PreA輪融資,本輪融得資金將進(jìn)一步夯實(shí)公司運(yùn)營(yíng)能力,保障公司在得到下游客戶驗(yàn)證后能迅速擴(kuò)產(chǎn)。
國(guó)家發(fā)展改革委會(huì)同有關(guān)方面對(duì)《西部地區(qū)鼓勵(lì)類產(chǎn)業(yè)目錄(2020年本)》進(jìn)行了修訂,形成了《西部地區(qū)鼓勵(lì)類產(chǎn)業(yè)目錄(修訂征求意見稿)》。目錄中涉及特種陶瓷、第三代半導(dǎo)體、稀土拋光材料等。
專家解答
參訪專業(yè)從事高純超純氧化鋁銷研產(chǎn)服一體化的高科技供應(yīng)商——中鋁山東有限公司高純氧化鋁事業(yè)部。
應(yīng)用于半導(dǎo)體領(lǐng)域或是集成電路的金剛石需要具備一定的形狀和面型精度
為了解決CMP精拋光磨料氧化硅的合成技術(shù)難點(diǎn)和國(guó)產(chǎn)化供應(yīng)問題,不少學(xué)者選擇對(duì)氧化硅改性處理。
納米氧化鈰作為CMP磨料,在拋光效率及效果上均優(yōu)于其他產(chǎn)品。
蘇州錸鉑機(jī)電科技有限公司(蘇州錸鉑)作為國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體行業(yè)III-V族軟材料減薄拋光工藝解決方案的專業(yè)提供商,始終致力于為客戶提供先進(jìn)、可靠的工藝支持。
解決方案
產(chǎn)品分類:吉致電子·拋光墊產(chǎn)品名稱:無紡布拋光墊/碳化硅SIC拋光墊/suba800替代產(chǎn)品特點(diǎn):吉致電子拋光墊滿足低、中及高硬度材料拋光需求,針對(duì)碳化硅SIC拋光的4道工藝制程搭配不同型號(hào)拋光墊(粗磨墊/精磨墊/粗拋墊/精拋墊)具有高移除率、高平坦性、低缺陷和高性價(jià)比(177----06-----
高純氧化鋁是指純度為99.99%以上的氧化鋁。高純氧化鋁粉呈白色粉末,化學(xué)性能穩(wěn)定,高溫收縮性能適中,具有良好的燒結(jié)性能以及普通氧化鋁粉無法比擬的光、電、磁、熱和機(jī)械性能,在高技術(shù)新材料領(lǐng)域和現(xiàn)代工業(yè)中有著廣泛應(yīng)用。
0.2um超細(xì)氧化鈰拋光粉基本信息:CAS1306-38-3性質(zhì):1,納米氧化鈰晶型完好,比重大,在陶瓷中不易形成氣孔。產(chǎn)品具有良好的分散性透明性,易于添加在塑膠、硅橡膠等聚合物中;2,納米氧化鈰具有比表面積大的特點(diǎn),適合于涂層材料或催化劑中使用;應(yīng)用領(lǐng)域:1,光學(xué)拋光2,玻璃拋光3,寶石拋光4,硅
鋁合金精拋液1.主要成分:硅溶膠、表面活性劑、分散劑、螯合劑2.產(chǎn)品功能:專門針對(duì)鋁合金精拋的一款高效精拋液,本產(chǎn)品長(zhǎng)時(shí)間不結(jié)晶,并具有容易清洗特性,緩解了整個(gè)行業(yè)所面臨的硅溶膠結(jié)晶嚴(yán)重和清洗困難的問題。應(yīng)用領(lǐng)域:適用于鋁合金材質(zhì)的3C產(chǎn)品的表面處理。
產(chǎn)品分類:吉致·碳化硅研磨拋光·半導(dǎo)體晶圓拋光產(chǎn)品名稱:碳化硅研磨液/碳化硅拋光液/碳化硅sic研磨墊/sic精拋墊產(chǎn)品特點(diǎn):吉致針對(duì)碳化硅sic拋光的4道工藝制程搭配不同型號(hào)研磨液、拋光液和拋光墊(粗磨墊/精磨墊/粗拋墊/精拋墊)。在研磨和拋光(177---06----168---670李)應(yīng)用中
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