前言
石英坩堝是半導(dǎo)體硅片原材料生產(chǎn)環(huán)節(jié)的關(guān)鍵耗材,相比太陽(yáng)能石英坩堝,半導(dǎo)體石英坩堝在生產(chǎn)制造過(guò)程中對(duì)原料石英砂雜質(zhì)含量要求更為嚴(yán)苛。與部分發(fā)達(dá)國(guó)家相比,我國(guó)起步較晚,部分生產(chǎn)工藝與國(guó)際領(lǐng)先企業(yè)相比存在一定差距。高品質(zhì)的半導(dǎo)體石英坩堝需要在各項(xiàng)技術(shù)參數(shù)中達(dá)到一個(gè)完美的平衡,如何控制各項(xiàng)技術(shù)參數(shù)是先進(jìn)石英坩堝廠商的核心技術(shù),特別是大尺寸半導(dǎo)體石英坩堝的制備技術(shù),目前仍是行業(yè)頭部企業(yè)的核心機(jī)密。
產(chǎn)業(yè)綜述
半導(dǎo)體石英坩堝在拉制高純度單晶硅棒時(shí)起到關(guān)鍵性作用,高純度的單晶硅棒在經(jīng)過(guò)切削后成為單晶硅片,因此半導(dǎo)體石英坩堝是下游硅片生產(chǎn)制造、晶圓加工及芯片生產(chǎn)不可或缺的輔助性耗材。
芯片制造對(duì)原材料硅片的品質(zhì),尤其純度、缺陷密度、位錯(cuò)、雜質(zhì)(氧、碳、金屬離子)含量等方面要求極為嚴(yán)苛。而石英坩堝是半導(dǎo)體硅片原材料生產(chǎn)環(huán)節(jié)的關(guān)鍵耗材。
半導(dǎo)體級(jí)石英坩堝具有純度高、質(zhì)量穩(wěn)定、耐溫性強(qiáng)、節(jié)約能源等優(yōu)點(diǎn),主要用于生長(zhǎng)半導(dǎo)體單晶硅,用于制造集成電路、微電子器件等,是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展中重要器具。
關(guān)鍵技術(shù)
美晶新材是國(guó)內(nèi)少數(shù)企業(yè)已經(jīng)可以生產(chǎn)42英寸石英坩堝的企業(yè)。美晶新材的光伏石英坩堝使用壽命已突破500小時(shí),遠(yuǎn)超300-360小時(shí)的行業(yè)平均水平。
石英坩堝大的質(zhì)量缺陷會(huì)導(dǎo)致硅片良率降低,甚至幾百萬(wàn)的產(chǎn)品都會(huì)直接報(bào)廢。
石英坩堝的內(nèi)壁因?yàn)榕c硅熔體接觸,在高溫狀態(tài)下,若內(nèi)壁存在氣泡,氣泡會(huì)導(dǎo)致氣體和雜質(zhì)從坩堝內(nèi)釋放到熔體中從而擾亂到單晶硅的生長(zhǎng)。
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核心原料
高純石英產(chǎn)品因耐高溫、熱膨脹系數(shù)低、透光性好、電絕緣性好、化學(xué)穩(wěn)定性好、抗激光損傷能力強(qiáng)、光譜特性好和抗熱震性能好等性能,是戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)的重要支撐且不可替代的材料。
閱讀正文高品質(zhì)礦物原料和提純技術(shù)是我國(guó)高純石英產(chǎn)業(yè)持續(xù)發(fā)展的兩大瓶頸,不同成因石英礦物具有差異性物理化學(xué)特征,對(duì)選礦提純效果具有約束作用。
閱讀正文盤(pán)點(diǎn)有實(shí)力卻“低調(diào)”的國(guó)內(nèi)高純砂企業(yè)。
閱讀正文項(xiàng)目總投資70000萬(wàn)元,建設(shè)3 萬(wàn)噸/年高純石英硅料(電子級(jí)),其中為檢驗(yàn)產(chǎn)品質(zhì)量,項(xiàng)目設(shè)置有石英坩堝試驗(yàn)線。
閱讀正文中旗新材擬將“湖北一期項(xiàng)目”和“湖北二期項(xiàng)目”剩余募集資金投入“年產(chǎn)1萬(wàn)噸半導(dǎo)體級(jí)、光伏坩堝用高純砂項(xiàng)目”。
閱讀正文安徽光鑫新材料科技有限公司年產(chǎn)5萬(wàn)噸高純石英砂、10萬(wàn)噸石英砂及1.2萬(wàn)只石英坩堝項(xiàng)目開(kāi)工儀式舉行。
閱讀正文安徽科沃通新材料科技有限公司擬投資30000萬(wàn)元建設(shè)年產(chǎn)35萬(wàn)噸高純石英砂及深加工項(xiàng)目。
閱讀正文項(xiàng)目投資
近日,寧夏盾源聚芯半導(dǎo)體科技股份有限公司再次遞交深交所主板IPO招股說(shuō)明書(shū)等上市申請(qǐng)材料。
圣寶鴻半導(dǎo)體及光伏生產(chǎn)設(shè)備制造基地項(xiàng)目計(jì)劃投資13.9億元,主要建設(shè)總部辦公樓、企業(yè)研發(fā)中心大樓、半導(dǎo)體和光伏核心零部件生產(chǎn)線、生活配套設(shè)施等內(nèi)容。
烏拉特中旗聚焦創(chuàng)建國(guó)家重要新能源新材料示范基地,以“加工”和“制造”為核心環(huán)節(jié),招引內(nèi)蒙古皖興硅業(yè)有限責(zé)任公司,總投資15.4億元,建設(shè)皖興硅基先進(jìn)材料產(chǎn)業(yè)園。
近日,浙江美晶新材料股份有限公司的半導(dǎo)體級(jí)石英坩堝產(chǎn)業(yè)園項(xiàng)目已完成一、二期基建建設(shè),順利進(jìn)入試生產(chǎn)階段。該項(xiàng)目總投資73539.75萬(wàn)元,建設(shè)年產(chǎn)42000只石英坩堝項(xiàng)目,項(xiàng)目建成后全廠將形成年產(chǎn)12.2萬(wàn)只石英坩堝的生產(chǎn)規(guī)模。
項(xiàng)目竣工投產(chǎn)后年產(chǎn)5萬(wàn)只石英坩堝,1萬(wàn)只石英管。
江蘇美瑞克新材料科技有限公司位于江蘇省徐州市沛縣經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū),擬投資2.3億建設(shè)年產(chǎn)10萬(wàn)只光伏及半導(dǎo)體級(jí)大直徑石英坩堝制造項(xiàng)目。
近日,寧夏盾源聚芯半導(dǎo)體科技股份有限公司研發(fā)樓及石英坩堝擴(kuò)產(chǎn)項(xiàng)目竣工投產(chǎn)。
江蘇徐州沛縣:石英坩堝、高純砂項(xiàng)目預(yù)計(jì)4月份投產(chǎn)
產(chǎn)品推薦
內(nèi)表面結(jié)最化的天然石英坩堝,適應(yīng)多次加料工藝,長(zhǎng)時(shí)間使用。適用于:半導(dǎo)本和太陽(yáng)能單晶硅的拉制,主推型號(hào):AQM-42。
采用高溫電弧法制造,純度在99.99%以上,具有良好的耐高溫性能(1450℃)。用于CZ法單晶硅生長(zhǎng)及其它用途。產(chǎn)品參數(shù)產(chǎn)品級(jí)別應(yīng)用使用壽命拉制次數(shù)表層微氣泡量YX30CPV>150h1-4<0.3.%YX30BPV>250h4-6<0.30%YX30APV>350h6
半導(dǎo)體石英坩堝:是半導(dǎo)體單晶硅生產(chǎn)中所必需的石英容器,也是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)和硅太陽(yáng)能電池的基礎(chǔ)設(shè)備,中昱采用美國(guó)尤尼明高純石英砂,經(jīng)高溫、電弧抽真空等技術(shù)將石英坩堝熔制而成。
歐晶科技主要產(chǎn)品為直拉單晶硅用電弧石英坩堝及石英制品,產(chǎn)品主要應(yīng)用于光伏和半導(dǎo)體領(lǐng)域,可支持太陽(yáng)能和半導(dǎo)體用戶(hù)高溫條件下連續(xù)拉晶。石英制品主要包括石英復(fù)投器、石英護(hù)套、石英電極片、石英環(huán)、石英液面測(cè)位銷(xiāo)等,常規(guī)規(guī)格和產(chǎn)品參數(shù)如圖所示。歐晶科技可按照客戶(hù)特殊要求定制。
本公司經(jīng)多年研究與技術(shù)創(chuàng)新,改良了多項(xiàng)傳統(tǒng)生產(chǎn)石英坩堝的工藝。引進(jìn)最新全自動(dòng)切割倒棱線、全自動(dòng)檢測(cè)線、全自動(dòng)清洗線,尤其在長(zhǎng)壽命技術(shù)中取得了多項(xiàng)技術(shù)成就,達(dá)到了國(guó)際先進(jìn)的生產(chǎn)技術(shù)水平。公司一直以來(lái)對(duì)坩堝生產(chǎn)的執(zhí)著研究,為生產(chǎn)高品質(zhì)石英坩堝奠定了堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)和技術(shù)保障。為什么選擇裕能石英坩堝本公司的高純
主要服務(wù)領(lǐng)域涉及光源、光伏、光纖及半導(dǎo)體用石英材料等。公司主導(dǎo)產(chǎn)品有高純石英砂、石英管(棒)、大口徑石英擴(kuò)散管、石英坩堝、各種石英器件等。公司秉承共贏的經(jīng)營(yíng)準(zhǔn)則,注重與客戶(hù)建立長(zhǎng)遠(yuǎn)的戰(zhàn)略伙伴關(guān)系,與眾多知名企業(yè)及跨國(guó)公司有著廣泛、緊密的業(yè)務(wù)合作。公司堅(jiān)持可持續(xù)發(fā)展方針,通過(guò)了ISO9001、ISO1
主要特點(diǎn):金屬元素、羥基含量低,質(zhì)密、粒度分布集中,用于制作石英玻璃產(chǎn)品,氣泡、氣線、色線等缺陷極少。主要特點(diǎn):金屬元素、羥基含量低,質(zhì)密、粒度分布集中,用于制作石英玻璃產(chǎn)品,氣泡、氣線、色線等缺陷極少。主要特點(diǎn):金屬元素、羥基含量低,質(zhì)密、粒度分布集中,用于制作石英玻璃產(chǎn)品,氣泡、氣線、色線等缺陷
通過(guò)了|SO9000體系認(rèn)證、國(guó)家高新技術(shù)企業(yè)、江蘇省”專(zhuān)精特新“企業(yè)等榮譽(yù)。目前企業(yè)員工120余人,科研人員20余人;并與國(guó)內(nèi)多家知名高校形成”產(chǎn)學(xué)研“合作。
高純石英砂采用特殊工藝將天然石英經(jīng)過(guò)破碎、分揀、提純等工序加工而成二氧化硅顆粒,主要應(yīng)用在IC的集成電路和石英玻璃等行業(yè),其高檔制品更被廣泛應(yīng)用在大規(guī)模及超大規(guī)模集成電路、光纖、激光、航空航天、軍工等關(guān)系國(guó)家長(zhǎng)遠(yuǎn)發(fā)展的行業(yè),因此石英砂的戰(zhàn)略地位非常重要。高純石英砂是中性無(wú)機(jī)填料,不含結(jié)晶水,不參與被
廣泛使用的重要材料,由于其超低金屬元素含量、強(qiáng)度高、無(wú)色點(diǎn)、耐高溫、抗析晶性能突出,制備的坩堝使用壽命長(zhǎng)、高溫變形率低、品質(zhì)穩(wěn)定。其具有化學(xué)穩(wěn)定性強(qiáng)、熱穩(wěn)定性好、機(jī)械強(qiáng)度高等優(yōu)點(diǎn)。在電子、半導(dǎo)體、光伏、涂料、油漆、化工和建筑材料等領(lǐng)域都有廣泛的應(yīng)用。
目前我司產(chǎn)品以光伏級(jí)坩堝內(nèi)層和中層砂為主,純度達(dá)到4N8(99.998%)以上,達(dá)到國(guó)際領(lǐng)先水平。
留言板
2024/10/14 15:30:55
很好
1
173620485931#2024/10/14 15:41:41