編號：NMJS02563
篇名：金屬援助硅化學(xué)刻蝕法可控制備硅納米線陣列
作者：呂文輝； 張帥；
關(guān)鍵詞：硅納米線陣列； 金屬援助硅化學(xué)刻蝕； 形貌控制；
機(jī)構(gòu)： 湛江師范學(xué)院物理系； 浙江大學(xué)硅材料國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室； 湛江師范學(xué)院科技處；
摘要： 基于金屬援助硅化學(xué)刻蝕機(jī)理,成功地發(fā)展了一種形貌可控地制備硅納米線陣列的有效方法。在該方法中,通過銀納米顆粒催化層的微結(jié)構(gòu)和硅化學(xué)刻蝕的時(shí)間來調(diào)控硅納米線陣列的形貌。掃描電子顯微鏡(SEM)形貌表征的實(shí)驗(yàn)結(jié)果證實(shí):硅納米線陣列的孔隙率依賴銀納米顆粒催化層的微結(jié)構(gòu),硅納米線陣列的高度依賴于硅的刻蝕時(shí)間。這種形貌可控地制備單晶硅納米線陣列的方法簡單、有效,可用于構(gòu)筑硅納米線光伏電池等各種硅基納米電子器件。
