編號：FTJS02705
篇名：噴霧干燥-冷等靜壓-燒結(jié)法制備ITO靶材的工藝研究
作者：李晶； 趙曉東； 李芝華； 任冬燕；
關鍵詞：ITO靶材； 噴霧干燥； 冷等靜壓； 燒結(jié)；
機構(gòu)： 西南科技大學材料科學與工程學院； 中南大學材料科學與工程學院；
摘要： 以化學共沉淀法制備的ITO粉末為原料,采用噴霧干燥-冷等靜壓-燒結(jié)法制備了ITO靶材,通過掃描電子顯微鏡(SEM)觀察粉末、素坯及燒結(jié)后ITO靶材的表面形貌和氣孔分布,并就粉末不同粒度組成對靶材壓制與燒結(jié)效果的影響進行了分析。實驗結(jié)果表明:通過噴霧干燥-冷等靜壓-燒結(jié)工藝可制備出相對密度大于97%的ITO靶材,噴霧干燥工序能有效改善粉末的流動性與壓形性,以細粉為主的素坯其燒結(jié)致密化程度更高。
