編號(hào)：FTJS02701
篇名：短波長X射線衍射檢測晶體材料內(nèi)部缺陷的邊界閾值法
作者：牟建雷； 張津； 高振桓； 鄭林； 何長光；
關(guān)鍵詞：短波長X射線； 衍射層析成像； 閾值法； 內(nèi)部缺陷； 晶體材料；
機(jī)構(gòu)： 北京科技大學(xué)北京市腐蝕磨蝕及表面技術(shù)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室； 西南技術(shù)工程研究所；
摘要： 在普通X射線源上進(jìn)行X射線衍射斷層掃描成像檢測晶體材料內(nèi)部缺陷的研究極少,短波長X射線衍射儀(short wavelength X-ray diffractometer,SWXRD)相比同步輻射裝置,體積小巧、實(shí)用和維護(hù)費(fèi)用低。在SWXRD上進(jìn)行X射線衍射斷層掃描時(shí),缺陷邊界的確定直接影響成像的質(zhì)量和缺陷的辨別。采用衍射強(qiáng)度閾值法對(duì)測試數(shù)據(jù)進(jìn)行處理,使得缺陷邊界清晰可辨。運(yùn)用Gauss函數(shù)擬合測試數(shù)據(jù)探索各種因素對(duì)閾值大小的影響,解決閾值設(shè)定的難題。通過研究置于鋁粉中的不同直徑像質(zhì)計(jì)對(duì)閾值大小的影響,發(fā)現(xiàn)閾值為基體強(qiáng)度的91%較合適。然后測試鋁板上的細(xì)縫進(jìn)一步驗(yàn)證了閾值法對(duì)缺陷邊界的改善和閾值選擇的準(zhǔn)確性。
