編號：NMJS02447
篇名：二氧化硅溶膠的制備及其對硬盤基板NiP的拋光速率研究
作者：孫濤；
關(guān)鍵詞：硅溶膠； 磨料； 硬盤； 化學(xué)機械拋光； 去除速率；
機構(gòu)： 天津工業(yè)大學(xué)環(huán)境與化學(xué)工程學(xué)院；
摘要： 離子交換法制備了不同粒徑的納米二氧化硅溶膠,采用TEM、DLS等手段對磨料進行了表征,并以二氧化硅溶膠作為磨料對存儲器硬盤基板NiP進行化學(xué)機械拋光實驗,考察了磨料粒徑和數(shù)量等因素對存儲器硬盤基板NiP的拋光去除速率的影響。
