編號(hào)：NMJS02386
篇名：微電子機(jī)械系統(tǒng)及其加工工藝簡(jiǎn)述
作者：薛小紅；
關(guān)鍵詞：微電子機(jī)械系統(tǒng)； 體微加工； 表面微加工； LIGA；
機(jī)構(gòu)： 齊齊哈爾職業(yè)學(xué)院；
摘要： 微電子機(jī)械系統(tǒng)是一項(xiàng)建立在微納米技術(shù)基礎(chǔ)上的前沿技術(shù),是對(duì)微納米材料進(jìn)行設(shè)計(jì)、加工、制造和控制的技術(shù)。硅微機(jī)械加工工藝是近年來(lái)隨著集成電路工藝發(fā)展起來(lái)的微電子機(jī)械系統(tǒng)主流技術(shù)。介紹了微電子機(jī)械系統(tǒng)的特點(diǎn),并討論了微電子機(jī)械系統(tǒng)的三種加工方法。
