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        ZnO納米線陣列濕度傳感器研究

        編號(hào):NMJS02178

        篇名:ZnO納米線陣列濕度傳感器研究

        作者:顧磊磊; 鄭凱波; 孫大林; 莫曉亮; 陳國(guó)榮;

        關(guān)鍵詞:ZnO納米線陣列; 濕度傳感器; 電容; 電阻;

        機(jī)構(gòu): 復(fù)旦大學(xué)材料科學(xué)系;

        摘要: 采用水熱法在Au/Ni叉指電極上原位生長(zhǎng)出整齊的ZnO納米線陣列。納米線的平均直徑和長(zhǎng)度分別為50 nm和5μm,且沿[0001]方向高度擇優(yōu)生長(zhǎng)。測(cè)試了基于納米線陣列的濕敏器件對(duì)不同濕度電容和電阻響應(yīng),并分析了它的工作機(jī)制。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,這些器件具有相對(duì)較大的靈敏度和較短的響應(yīng)和恢復(fù)時(shí)間,從而說(shuō)明ZnO納米線陣列在濕敏領(lǐng)域有很好的應(yīng)用前景。

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