編號：NMJS01985
篇名：上海應(yīng)物所制出超高靈敏硅納米線DNA傳感器
作者：
關(guān)鍵詞：硅納米線； 傳感器； 高靈敏； 加工技術(shù)； 信息技術(shù)研究； 研究進展； 微系統(tǒng)； 三角形截面； 課題組； 物理研究所；
機構(gòu)：
摘要： <正>在最新一期的Nano Letters上(Nano Lett.,2011,11(9),pp 3974–3978,DOI:10.1021/nl202303y),中科院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所王躍林/李鐵課題組與上海應(yīng)用物理研究所樊春海課題組以快報形式報導(dǎo)了他們在超高靈敏硅納米線DNA傳感器方面的合作研究進展。研究人員在傳統(tǒng)半導(dǎo)體加工技術(shù)的基礎(chǔ)上,利用硅材料自身的工藝選擇性,基于自上而下方法發(fā)展了硅納米線加工技術(shù),并實現(xiàn)了納米級尺寸的精確控制。硅納米線不但寬度可以達到20納米,而且其三角形截面
