編號：FTJS01682
篇名：濺射的Ti薄膜熱氧化形成的TiO2薄膜與p+-Si形成的異質(zhì)結(jié)的電致發(fā)光
作者： 張安邦； 馬向陽； 金璐； 楊德仁；
關(guān)鍵詞：二氧化鈦； 硅； 異質(zhì)結(jié)； 電致發(fā)光；
機構(gòu)： 浙江大學硅材料國家重點實驗室；
摘要： 利阿太磁控濺射法以不同條件在重摻硼硅片（p+-Si）上制備Ti薄膜,經(jīng)過一定條件下的熱氧化轉(zhuǎn)化為TiO2薄膜,從而形成TiO2/p+ -Si異質(zhì)結(jié)。研究表明:要使TiO2/p+ -Si異質(zhì)結(jié)產(chǎn)生顯著的電致發(fā)光,其中的TiO2薄膜必須呈現(xiàn)單一的銳鈦礦相,這就要求在較低的功率下濺射獲得晶粒尺寸較小的Ti薄膜。此外,TiO2的薄膜厚度需要控制在合理的范圍。文中對上述結(jié)果的物理機制進行了探討。 更多還原
