編號(hào)：FTJS01660
篇名：淺談自組裝膜引導(dǎo)二氧化鈦沉積的研究
作者：金貞玉;
關(guān)鍵詞：自組裝功能膜; 液相沉積; 二氧化鈦薄膜;
機(jī)構(gòu)： 盤錦職業(yè)技術(shù)學(xué)院;
摘要： 納米薄膜或涂層材料已成為現(xiàn)代材料科學(xué)的一個(gè)重要分支。在此研究了磷酸化功能膜層引導(dǎo)納米二氧化鈦薄膜的沉積生長(zhǎng)規(guī)律,并在單晶硅表面制備出了與基底結(jié)合緊密的納米尺度的二氧化鈦薄膜。在有機(jī)硅烷小分子磷酸化的基片上,成功制備了二氧化鈦薄膜。利用X-光電子能譜、X-射線衍射儀、原子力顯微鏡等方法對(duì)沉積生成的二氧化鈦薄膜進(jìn)行了研究,證明了磷酸化的功能基片在以下所采取的實(shí)驗(yàn)條件下能有效引導(dǎo)二氧化鈦薄膜的形成。
