編號(hào)：NMJS01308
篇名：納米壓印技術(shù)與感光樹脂應(yīng)用的發(fā)展
作者：劉力行; 曹瑞軍; 白龍騰; 李祥明;
關(guān)鍵詞：納米壓印; UV光固化; 感光樹脂; 電潤濕; 電毛細(xì);
機(jī)構(gòu)： 西安交通大學(xué)理學(xué)院化學(xué)系;
摘要： 納米壓印技術(shù)作為1種新興的微納制造技術(shù),受到了學(xué)術(shù)界極大的關(guān)注。UV光固化納米壓印因其工藝加工精度高,生產(chǎn)效率高,成本低,對(duì)準(zhǔn)性好,在納米壓印中具有無可比擬的優(yōu)勢。在其不斷發(fā)展中對(duì)核心要素之一的感光樹脂的應(yīng)用也提出了新的要求與挑戰(zhàn)。本文總結(jié)了納米壓印技術(shù)及感光樹脂應(yīng)用的發(fā)展,同時(shí)提出了1種新的納米壓印光刻技術(shù),并對(duì)感光樹脂的發(fā)展提出展望。
