編號：NMJS01152
篇名：多目標拓撲優(yōu)化設計在納米定位平臺中的應用
作者：陳立國; 張洋; 陳濤; 榮偉彬; 孫立寧;
關鍵詞：納米定位平臺; 拓撲優(yōu)化; 多目標設計; 楔形預緊;
機構： 哈爾濱工業(yè)大學機器人研究所; 中國科學院上海微系統(tǒng)與信息技術研究所傳感技術國家重點聯合實驗室;
摘要： 納米定位平臺在微型機械和精密儀器的設計和制造領域起著重要作用。該文將拓撲優(yōu)化引入到壓電陶瓷驅動的一維納米定位平臺設計中,并利用多目標設計方法對平臺的運動和結構需求進行了優(yōu)化,采用楔形預緊結構對壓電陶瓷進行緊密預緊。經有限元仿真和實驗驗證,該實驗系統(tǒng)輸出位移達10μm,定位精度5 nm,耦合誤差小于1%。實驗證明,該方法為納米定位平臺的設計和制造提供了一種新穎、靈活、有效的方法。
