編號：NMJS01149
篇名：納米顆粒增強鎳基MEMS器件材料的蠕變性能研究
作者：魯婷婷; 王峰會; 陳平偉;
關鍵詞：MEMS(微機電系統(tǒng)); 蠕變速率敏感指數(shù); 納米壓痕; LIGA(光刻電鑄模造);
機構： 西北工業(yè)大學工程力學系;
摘要： 利用同步輻射LIGA微鑄復合工藝,將納米氧化物增強顆粒復合到微電子機械系統(tǒng)(MEMS)結構材料中。制作了專用夾具,采用微力材料試驗機測量了納米Al2O3顆粒增強鎳基復合材料的強度為1GPa;將恒加載速率/載荷法和恒載荷法相結合,利用納米壓痕儀測量了該材料的室溫蠕變速率敏感指數(shù)m。結果表明,LIGA復合技術得到的納米顆粒增強鎳基復合材料具有較高的強度;MEMS器件材料在室溫下會發(fā)生蠕變;材料在相同壓深下最大載荷不隨加載速率而改變,加載段粘彈性和粘塑性變形極少;主要由局部高應力導致壓痕蠕變;材料的蠕變速率敏感指數(shù)m值為0.004,說明納米Al2O3顆�？捎行г鰪娀w材料的抗蠕變能力;且不同恒.P/P下獲得的m值基本相同,表示此種材料對加載速率不敏感。
