編號(hào)：NMJS01113
篇名：Fe/Cu納米多層薄膜中內(nèi)應(yīng)力對(duì)其力學(xué)性能的影響
作者：艾利娟; 祝江平; 吳曉玲; 鄭瑞廷; 程國(guó)安;
關(guān)鍵詞：Fe/Cu納米多層薄膜; 內(nèi)應(yīng)力; 納米硬度; 彈性模量;
機(jī)構(gòu)： 北京師范大學(xué)射線束技術(shù)與材料改性教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室北京師范大學(xué)核科學(xué)與技術(shù)學(xué)院;
摘要： 利用直流磁控濺射方法制備了Fe/Cu納米多層膜,使用掃描電子顯微鏡(SEM)、薄膜應(yīng)力分布測(cè)試儀和納米壓痕技術(shù)研究了不同周期結(jié)構(gòu)Fe/Cu納米多層薄膜的內(nèi)應(yīng)力及其納米力學(xué)性能.在Fe/Cu納米多層薄膜中,由于鐵和銅的結(jié)構(gòu)和本征性能的差異,形成多層膜結(jié)構(gòu)后存在張應(yīng)力,其張應(yīng)力在周期T=10時(shí)達(dá)到910.08 MPa,對(duì)應(yīng)的納米硬度為12.3 GPa.隨著多層薄膜調(diào)制周期數(shù)T的增加而內(nèi)應(yīng)力逐漸降低,納米硬度和彈性模量隨著張應(yīng)力緩釋也出現(xiàn)下降.根據(jù)納米薄膜內(nèi)應(yīng)力對(duì)其力學(xué)性能的影響,探討了內(nèi)應(yīng)力與薄膜納米力學(xué)性能的相關(guān)性.
