編號(hào)：FTJS01500
篇名：碳/碳復(fù)合材料應(yīng)用于直拉硅單晶生長(zhǎng)的研究
作者：王世援; 韓煥鵬; 劉鋒;
關(guān)鍵詞：碳/碳復(fù)合材料; 直拉單晶爐; 熱系統(tǒng)保溫裝置;
機(jī)構(gòu)： 中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第四十六研究所;
摘要： 介紹了熱系統(tǒng)在直拉硅單晶中的作用,對(duì)比了石墨與碳/碳復(fù)合材料的生產(chǎn)過(guò)程和性能特點(diǎn)與差異。通過(guò)在單晶爐上的實(shí)驗(yàn)應(yīng)用,證明了碳/碳復(fù)合材料比石墨材料具有更好的實(shí)際應(yīng)用效果,在直拉硅單晶領(lǐng)域具有很好的應(yīng)用潛力。分析了碳/碳復(fù)合材料的一些不足,并提出了相應(yīng)的解決方案。
