編號：FTJS01395
篇名：燃燒法合成Al摻雜β-SiC粉體的工藝參數(shù)對其介電性能的影響
作者：蘇曉磊; 周萬城; 徐潔; 李智敏; 王俊勃; 賀辛亥; 付翀; 張李峰;
關(guān)鍵詞：燃燒合成法; 碳化硅; 介電性能;
機構(gòu)： 西安工程大學機電工程學院; 西北工業(yè)大學材料學院; 西安電子科技大學技術(shù)物理學院; 陜西電力科學研究院;
摘要： 采用燃燒合成法,以硅粉和炭黑為原料,鋁粉為摻雜劑,聚四氟乙烯為助燃劑,分別在不同坯體壓力下制備成坯體,在0.1MPa的氮氣氣氛中合成Al摻雜β-SiC粉體。通過X射線衍射、掃描電鏡和電子能譜對合成粉體的物相、微觀結(jié)構(gòu)及形貌進行了表征。同時在8.2～12.4GHz頻率范圍內(nèi)進行了介電性能測試。結(jié)果表明隨著坯體壓力的增大,合成β-SiC粉體的晶格參數(shù)隨之減小,且其介電性能隨之降低。對合成機理和Al摻雜對SiC介電性能的影響進行了討論。
