編號(hào)：NMJS00920
篇名：FeNi納米磁性薄膜的制備及其在傳感器中的應(yīng)用
作者：王海成;
關(guān)鍵詞：納米薄膜材料; 實(shí)踐教學(xué); 儀器設(shè)備; 納米材料; 傳感器; 納米磁性薄膜; 測(cè)試分析; 磁控濺射鍍膜; 制備與性能
機(jī)構(gòu)： 北京科技大學(xué)材料科學(xué)與工程學(xué)院;
摘要： 納米薄膜材料是一種二維的納米材料,其在厚度方向的尺寸處于納米量級(jí)(0.1～100nm)。由于這種特殊的結(jié)構(gòu),納米薄膜材料可以在光、電、熱、磁等方面表現(xiàn)出優(yōu)異的性能,是一種先進(jìn)的功能材料。那么,納米薄膜材料是怎么制備出來(lái)的?其原理是什么?納米薄膜的性能如何測(cè)試?納米薄膜制備出來(lái)后又如何應(yīng)用于器件產(chǎn)品?……文章以磁控濺射FeNi薄膜為例,概要介紹了磁控濺射的鍍膜方法,以及薄膜制備與性能測(cè)試分析的關(guān)鍵儀器設(shè)備,并對(duì)FeNi薄膜在傳感器領(lǐng)域中的應(yīng)用進(jìn)行了簡(jiǎn)單介紹。
