編號(hào)：FTJS106936
篇名：膠凝膠法制備薄膜的工藝優(yōu)化與性能研究
作者：肖紅軍 曹銀鐳 鄒杰聰
關(guān)鍵詞： 膠凝膠法 無機(jī)材料薄膜 工藝優(yōu)化 表面處理 熱處理
機(jī)構(gòu)： 先導(dǎo)薄膜材料（廣東）有限公司 廣東省薄膜材料工程技術(shù)研究中心 廣東省高性能濺射靶材技術(shù)與應(yīng)用企業(yè)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室
摘要： 膠凝膠法制備薄膜的工藝優(yōu)化與性能研究是材料科學(xué)領(lǐng)域的重要課題。文章主要研究的是膠凝膠法制備薄膜的關(guān)鍵工藝步驟,包括前驅(qū)體溶液配制、溶膠制備、涂覆技術(shù)、熱處理以及后處理等,并探討了這些工藝參數(shù)對(duì)薄膜性能的影響�；趦�(yōu)化前驅(qū)體濃度、溶膠穩(wěn)定性、涂覆均勻性、熱處理溫度和時(shí)間等條件,能提高薄膜的化學(xué)成分、微觀結(jié)構(gòu)、物理性能、化學(xué)性能以及應(yīng)用性能。
