編號：NMJS00743
篇名：低壓等離子噴涂鎢薄膜及納米粉末
作者：T.N.McKechnie; J.SO’Dell; 楊永琪;
關(guān)鍵詞：低壓等離子; 鎢薄膜; 沉積; 納米粉末;
機(jī)構(gòu)： 等離子加工有限公司;
摘要： 本文采用了一種新的等離子化學(xué)工藝來制備鎢薄膜。這種工藝采用超細(xì)粉或前驅(qū)體作為原料,利用低壓下等離子使原料氣化,蒸發(fā)沉積成納米尺寸顆粒,形成等軸晶和柱狀晶結(jié)構(gòu),這與傳統(tǒng)的等離子噴涂差異很大,傳統(tǒng)的等離子噴涂得到的顆粒為典型的扁平化結(jié)構(gòu)。顆粒尺寸分析表明這種技術(shù)制備的鎢粉末粒度為30～150nm,制備的沉積層中的鎢顆粒尺寸較大,這主要是因為晶粒長大引起的。
