編號：CYYJ03962
篇名：Ag納米顆粒增強(qiáng)SnO2納米薄膜的室溫氣敏性能研究
作者：劉文強(qiáng) 吳鵬舉 王瑗瑗 連艷利 楊瑩麗
關(guān)鍵詞： 二氧化錫納米薄膜 AG納米顆粒 異質(zhì)結(jié) 氣體傳感器
機(jī)構(gòu)： 河南理工大學(xué)物理與電子信息學(xué)院 中國聯(lián)合網(wǎng)絡(luò)通信有限公司焦作市分公司 河南理工大學(xué)分析測試中心
摘要： 采用磁控濺射法在p-Si襯底上沉積二氧化錫(SnO2)納米薄膜并在其上負(fù)載銀(Ag)納米顆粒作為氣體傳感器的敏感材料。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明:負(fù)載Ag納米顆粒提高了SnO2納米薄膜的靈敏度。Ag濺射時間為80 s,負(fù)載量為6%質(zhì)量分?jǐn)?shù)的SnO2納米薄膜對乙醇?xì)怏w的響應(yīng)值較未負(fù)載Ag納米顆粒時提高了78.7%,這可以歸因于Ag納米顆粒與SnO2納米薄膜之間形成了異質(zhì)結(jié)。實(shí)驗(yàn)測試了工作電壓對SnO2納米薄膜靈敏度的影響,當(dāng)工作電壓均為5.5 V時,傳感器對乙醇和丙酮?dú)怏w的響應(yīng)最佳,響應(yīng)值分別為3.49和4.51。
