編號：SBJS01037
篇名：超聲研磨壓電諧振系統(tǒng)設計與分析
作者：黃衛(wèi)清 李金桂 寧青雙 安大偉
關(guān)鍵詞： 縱向諧振 壓電 諧振頻率 有限元分析
機構(gòu)： 廣州大學機械與電氣工程學院
摘要： 針對目前硬脆性材料在普通研磨拋光中存在的加工效率低、加工精度不高等問題,設計了一種超聲研磨壓電諧振系統(tǒng)�；诔曊駝臃匠毯椭C振設計理論,對其進行了理論分析和結(jié)構(gòu)設計。通過對變幅桿尺寸優(yōu)化降低了設計頻率的誤差,并利用有限元軟件ANSYS Workbench驗證了變幅桿諧振頻率與超聲研磨系統(tǒng)諧振頻率的一致性,提高了整個系統(tǒng)的縱向諧振性能。最后對該超聲研磨系統(tǒng)進行了阻抗和振幅試驗,測試結(jié)果表明:壓電振子工作時電能與機械能的轉(zhuǎn)化效率較高,縱向振幅達到10.85um,符合超聲研磨加工振幅要求,驗證了理論設計與有限元分析的正確性。
