編號(hào)：FTJS09780
篇名：單晶金剛石異質(zhì)外延用銥復(fù)合襯底研究現(xiàn)狀
作者：屈鵬霏 金鵬 周廣迪 王鎮(zhèn) 許敦洲 吳巨 鄭紅軍 王占國(guó)
關(guān)鍵詞： 金剛石 銥復(fù)合襯底 半導(dǎo)體 異質(zhì)外延 偏壓增強(qiáng)成核 微波等離子體化學(xué)氣相沉積
機(jī)構(gòu)： 中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體研究所 中國(guó)科學(xué)院大學(xué)材料與光電研究中心
摘要： 金剛石優(yōu)異的物理性質(zhì)使其成為下一代最有發(fā)展?jié)摿Φ陌雽?dǎo)體材料之一。目前來(lái)看,基于微波等離子體化學(xué)氣相沉積的異質(zhì)外延可能是未來(lái)制備大尺寸單晶金剛石的最佳方法。在過(guò)去的三十年間,銥復(fù)合襯底上異質(zhì)外延生長(zhǎng)單晶金剛石取得了一定進(jìn)展,特別是近幾年實(shí)現(xiàn)了2英寸(1英寸=2.54 cm)以上的大尺寸自支撐單晶金剛石的生長(zhǎng)。本文總結(jié)了金剛石異質(zhì)外延用的襯底,簡(jiǎn)要介紹了異質(zhì)襯底上的偏壓增強(qiáng)成核,詳細(xì)介紹了目前最成功的銥/氧化物、銥/氧化物層/硅復(fù)合襯底,最后對(duì)金剛石異質(zhì)襯底和異質(zhì)外延進(jìn)行了總結(jié),指出目前存在的問(wèn)題并給出了一些可能的解決思路。
