編號：FTJS09042
篇名：氧化銦和氧化錫混合粉體噴霧造粒工藝研究
作者：羅文 郝振華 李樹榮 孟將 陳杰 劉洋
關(guān)鍵詞： 氧化銦 氧化錫 噴霧造粒 ITO靶材 黏結(jié)劑質(zhì)量分數(shù)
機構(gòu)： 西北稀有金屬材料研究院稀有金屬特種材料國家重點實驗室 鄭州大學河南省資源與材料工業(yè)技術(shù)研究院 鄭州大學材料科學與工程學院
摘要： 氧化銦錫(ITO)原料粉作為影響靶材制備的關(guān)鍵性因素,對所制備出的靶材質(zhì)量有著重要影響,為了改善納米氧化銦錫混合粉體的壓制性能,提高ITO原料粉的質(zhì)量,將納米氧化銦和氧化錫混合粉體與分散劑和黏結(jié)劑混合之后球磨,再采用壓力噴霧造粒技術(shù)制備近球形氧化銦錫造粒粉。分別研究漿料黏度、黏結(jié)劑含量、漿料固含量和進風溫度對造粒氧化銦錫粉體微觀表面形貌、松裝密度、振實密度以及粒度分布的影響。結(jié)果表明:當黏結(jié)劑聚乙烯醇(PVA)質(zhì)量分數(shù)為1%,氧化銦錫漿料固含量為50%,以及壓力噴霧造粒機進風溫度為200℃時,可以得到性能良好的氧化銦錫造粒粉。采用噴霧造粒工藝可以有效提高納米氧化銦錫混合粉體的松裝密度和振實密度,改善其壓制性能,有利后續(xù)燒結(jié)獲得高密度的ITO靶材。
