編號(hào)：FTJS09038
篇名：高純合成石英的制備技術(shù)和應(yīng)用
作者：李愛民 萬(wàn)燁 常欣 劉見華 曾曉國(guó) 袁振軍
關(guān)鍵詞： 高純石英 制備技術(shù) 應(yīng)用 液相水解法
機(jī)構(gòu)： 中國(guó)恩菲工程技術(shù)有限公司 洛陽(yáng)中硅高科技有限公司
摘要： 高純石英是石英玻璃和集成電路基板材料等生產(chǎn)的重要原料,在高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)中具有極大地利用價(jià)值和不可取代的地位。隨著天然水晶資源的持續(xù)減少,高純合成石英的研究逐漸受到重視。本文全面地介紹了高純石英的特性、合成制備技術(shù)及其研究現(xiàn)狀,另外闡述了高純合成石英的重要應(yīng)用。認(rèn)為采用多晶硅生產(chǎn)副產(chǎn)物SiCl;的液相水解法以制備高純石英是一種符合可持續(xù)發(fā)展要求且具有潛在生產(chǎn)價(jià)值的技術(shù)方法。
