編號(hào)：NMJS00511
篇名：基于AFM加工技術(shù)的自組裝有序納米微結(jié)構(gòu)形成機(jī)理研究
作者：
關(guān)鍵詞：加工技術(shù); 納米微結(jié)構(gòu); 加工機(jī)理; 嵌段共聚物; 自組裝結(jié)構(gòu); 加工系統(tǒng); 自組裝納米結(jié)構(gòu); 動(dòng)力學(xué)仿真; 納米電子器件; 機(jī)械刻劃;
機(jī)構(gòu)：
摘要： <正>(項(xiàng)目資助號(hào):50605012)1項(xiàng)目負(fù)責(zé)人及所在單位:閆永達(dá),哈爾濱工業(yè)大學(xué)2起止年限:2007年1月～2009年12月3項(xiàng)目簡介針對(duì)納米電子器件對(duì)有序自組裝納米結(jié)構(gòu)的迫切需求,建立了基于AFM的納米機(jī)械刻劃加工系統(tǒng),采用分子動(dòng)力學(xué)仿真方法研究了探針納米機(jī)械刻劃加工機(jī)理,深入研究了刻劃方向、垂直載荷、進(jìn)給量、樣品材料等因素對(duì)加工結(jié)構(gòu)深度、表面質(zhì)量和精度的影響規(guī)律,最終加工出適用于調(diào)控自組裝過程的二維和三維微納結(jié)構(gòu)。
